恭喜ASML荷兰有限公司文载寅获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于机器学习辅助的光学邻近效应误差校正的训练方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113614638B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080023323.6，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权用于机器学习辅助的光学邻近效应误差校正的训练方法是由文载寅设计研发完成，并于2020-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于机器学习辅助的光学邻近效应误差校正的训练方法在说明书摘要公布了：本文描述的是一种确定用于训练机器学习模型以预测光学邻近效应校正的代表图案的方法。所述方法包括：获得包括一组图案群组的设计布局，每个图案群组包括一个或更多个子群组；确定所述一组图案群组中的一组代表图案，所述代表图案是其实例出现于所述一组图案群组中的子群组；经由使用所述一组代表图案来模拟光学邻近效应校正过程，获得与所述一组代表图案相关联的参考光学邻近效应校正数据；和训练机器学习模型，以基于所述一组代表图案和所述一组参考光学邻近效应校正数据来预测针对所述设计布局的光学邻近效应校正。
本发明授权用于机器学习辅助的光学邻近效应误差校正的训练方法在权利要求书中公布了：1.一种确定用于训练机器学习模型以预测光学邻近效应校正的代表图案的方法，所述方法包括：获得包括一组图案群组的设计布局，每个图案群组包括一个或更多个子群组；确定所述一组图案群组中的一组代表图案，所述代表图案是图案的子群组，且所述代表图案具有出现于所述一组图案群组中的代表图案实例；通过使用所述一组代表图案来模拟光学邻近效应校正过程，获得与所述一组代表图案相关联的参考光学邻近效应校正数据；和基于所述一组代表图案和一组参考光学邻近效应校正数据来训练机器学习模型，以预测针对所述设计布局的光学邻近效应校正。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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