恭喜株式会社斯库林集团桑原丈二获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111508881B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911348442.4，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置是由桑原丈二设计研发完成，并于2019-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置。载具搬送机构51在2个开启机构9、10的载置台13与多个载具保管架53之间搬送载具C。多个载具保管架53及载具搬送机构51分别搭载在第1处理块3之上。因此，也可以不像以往那样从装载块在水平方向上延长地设置多个载具保管架53及载具搬送机构51，能够削减在水平方向上延长的设置面积。即，能够减小衬底处理装置1的占据面积。
本发明授权衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，对衬底进行处理，且包含以下要素：第1装载块，设有用于载置能够收纳多个衬底的载具的至少1个第1载具载置台；第1处理块，在水平方向上与所述第1装载块连结；多个载具保管架，搭载在所述第1装载块及所述第1处理块中的至少一个之上，分别保管所述载具；载具搬送机构，搭载在所述第1装载块及所述第1处理块中的至少一个之上，在所述至少1个第1载具载置台与所述多个载具保管架之间搬送所述载具；及所述第1装载块构成为能够对载置于所述至少1个第1载具载置台的所述载具进行衬底的放入取出；且所述至少1个第1载具载置台设于比所述第1处理块的上表面高的位置，且所述至少1个第1载具载置台设于所述第1处理块的上方。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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