买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种平板式PECVD设备反应腔室特气耦合输送装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111748795B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910250504.1，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种平板式PECVD设备反应腔室特气耦合输送装置是由杨彬;陈特超;陈国钦;唐电;苏卫中;杨勇设计研发完成，并于2019-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种平板式PECVD设备反应腔室特气耦合输送装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种平板式PECVD设备反应腔室特气耦合输送装置，包括位于反应腔室上盖上的上送气座、位于反应腔室内的下送气座、以及位于上送气座和下送气座之间的过渡座，上送气座上设有多个上送气接头，过渡座上设有多个过渡通道，所述下送气座上设有多个下送气接头，各上送气接头下端与各所述过渡通道的上端一一对应布置，各下送气接头上端一一对应地伸入各所述过渡通道的下端，所述过渡座上端于各所述过渡通道外周分别设有第一密封圈，过渡座上端边缘设有包括所有第一密封圈在内的第二密封圈。本发明可将气体从固定不动的下反应腔室安全地引入到铰链式翻盖结构的活动上盖的喷气口，本发明具有结构简单、可靠性好、不易出现气体泄漏等优点。

本发明授权一种平板式PECVD设备反应腔室特气耦合输送装置在权利要求书中公布了：1.一种平板式PECVD设备反应腔室特气耦合输送装置，用于将气体从固定不动的下反应腔室引入到活动的反应腔室上盖，其特征在于：包括位于反应腔室上盖上的上送气座（1）、位于反应腔室内的下送气座（2）、以及位于上送气座（1）和下送气座（2）之间的过渡座（3），所述上送气座（1）上设有多个上送气接头（11），所述过渡座（3）上设有多个过渡通道（31），所述下送气座（2）上设有多个下送气接头（21），各所述上送气接头（11）下端与各所述过渡通道（31）的上端一一对应布置，各所述下送气接头（21）上端一一对应地伸入各所述过渡通道（31）的下端，所述过渡座（3）上端于各所述过渡通道（31）外周分别设有第一密封圈（33），过渡座（3）上端边缘设有包括所有第一密封圈（33）在内的第二密封圈（32），所述下送气接头（21）外周套设有弹性件（23），所述弹性件（23）上端与所述过渡座（3）抵接，弹性件（23）下端与所述下送气座（2）抵接以使得过渡座（3）可以上下运动；所述过渡座（3）内设有抽真空通道（34），所述抽真空通道（34）的进气口位于所述第一密封圈（33）和第二密封圈（32）之间，且出气口连接有抽真空泵；所述下送气接头（21）上端设有至少一个第三密封圈（22）。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国电子科技集团公司第四十八研究所，其通讯地址为：410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。