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龙图腾网恭喜深圳市新晶路电子科技有限公司申请的专利一种晶圆上料装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119560449B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510114774.5，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种晶圆上料装置是由谢亮春;吴泽晓;张小波设计研发完成，并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆上料装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆上料装置，涉及半导体制造技术领域，包括：底板；支持组件；支持组件包括固定连接在底板的顶端两侧的安装架；送料组件；送料组件包括固定连接在底板顶端一侧的气缸一，气缸一的驱动端固定连接有主动移动座；夹持组件；夹持组件包括固定连接在主动移动座上的气缸二，气缸二的驱动端固定连接有支板，支板的内部两侧均开设有滑槽；这种设计通过气动装置的配合，送料与夹持过程同步进行，提高了操作效率，减少了停顿时间，保障了晶圆在传输过程中的稳定性与连续性，与真空吸盘吸附相比，本方案不依赖于晶圆的表面特性，因此对晶圆的表面平整度要求较低，避免了表面平整度对晶圆稳定性产生影响，确保了更高的稳定性和安全性。

本发明授权一种晶圆上料装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆上料装置，其特征在于，包括：底板（1）；支持组件（2）；支持组件（2）包括固定连接在底板（1）的顶端两侧的安装架（21）；送料组件（3）；送料组件（3）包括固定连接在底板（1）顶端一侧的气缸一（31），所述气缸一（31）的驱动端固定连接有主动移动座（32）；夹持组件（4）；夹持组件（4）包括固定连接在主动移动座（32）上的气缸二（41），所述气缸二（41）的驱动端固定连接有支板（42），所述支板（42）的内部两侧均开设有滑槽（43），所述滑槽（43）上滑动连接有移动板（45），两个所述移动板（45）的相近一端固定连接有气缸三（44）；旋转驱动组件（5）；旋转驱动组件（5）包括固定连接在移动板（45）上的安装板（51），所述安装板（51）上安装有电机（52），所述电机（52）的驱动端固定连接有主动齿轮（53），所述主动齿轮（53）上固定连接有延伸杆一（54），所述延伸杆一（54）的内部固定连接有从动齿轮（56）；翻转组件（6）；翻转组件（6）包括蜗轮（61）与定位圈（64），所述蜗轮（61）的外侧固定连接有支撑座（62），所述支撑座（62）的两侧均固定连接有转块（63），所述定位圈（64）的内部开设有转槽（65）；夹持调节组件（7）；夹持调节组件（7）包括固定连接在支撑座（62）两端的卡架（71），所述卡架（71）的内部固定连接有卡块（72），所述支撑座（62）的顶端滑动连接有夹持夹（73），所述夹持夹（73）的两侧均开设有卡槽（74），所述夹持夹（73）的一端设置有推动槽（75）。

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