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龙图腾网恭喜新毅东(北京)科技有限公司申请的专利光刻机掩膜版对准系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119395954B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510013797.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻机掩膜版对准系统是由张琪;符友银;张曼妮设计研发完成，并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本光刻机掩膜版对准系统在说明书摘要公布了：本申请涉及光刻机技术领域，更为具体地说，提供了一种光刻机掩膜版对准系统。该光刻机掩膜版对准系统包括从物镜到相机依次排列的前反射镜组、固定镜头组、高倍低倍切换镜头组和后反射镜组，其中，所述前反射镜组和后反射镜组每个包括一个或多个反射镜，且所述高倍低倍切换镜头组包括可切换的具有低倍放大倍率的低倍镜头组和具有高倍放大倍率的高倍镜头组，且所述低倍放大倍率用于粗对准系统而所述高倍放大倍率用于精对准系统。这样，通过使用高倍低倍切换镜头组在粗对准和精对准时基于共同的物面和像面以及共同的光源和相机进行对准，增加了对准精度。

本发明授权光刻机掩膜版对准系统在权利要求书中公布了：1.一种光刻机掩膜版对准系统，包括从物镜到相机依次排列的前反射镜组、固定镜头组、高倍低倍切换镜头组和后反射镜组；其中，所述前反射镜组和后反射镜组每个包括一个或多个反射镜，且所述高倍低倍切换镜头组包括可切换的具有低倍放大倍率的低倍镜头组和具有高倍放大倍率的高倍镜头组，且所述低倍放大倍率用于粗对准系统而所述高倍放大倍率用于精对准系统；其特征在于，所述低倍镜头组和所述高倍镜头组的光轴设置在同一水平面上并相互平行；所述低倍镜头组和所述高倍镜头组通过固定外壳固定在一起，所述固定外壳的底部固定在滑动机构上，所述滑动机构的下方设置有导轨，驱动器通过其轴端的连接杆推动所述滑动机构移动，以切换所述低倍镜头组和所述高倍镜头组与所述固定镜头组的光轴重叠；其中，掩膜版下表面为所述光刻机掩膜版对准系统的成像物面，相机为成像像面，光源在基础版下方。

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