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恭喜西安电子科技大学广州研究院李祥东获国家专利权

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龙图腾网恭喜西安电子科技大学广州研究院申请的专利绝缘栅MIS HEMT器件、制备方法、芯片及电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119325270B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411864587.0,技术领域涉及:H10D62/10;该发明授权绝缘栅MIS HEMT器件、制备方法、芯片及电子设备是由李祥东;翟丽荔;张进成;郝跃设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

绝缘栅MIS HEMT器件、制备方法、芯片及电子设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种绝缘栅MISHEMT器件、制备方法、芯片及电子设备,该器件结构包括:衬底层,依次位于衬底层上的成核层、过渡层、缓冲层、沟道层、插入层、势垒层和C掺杂的C:GaN绝缘层;金属层,位于绝缘层上;隔离结构,位于HEMT器件的侧壁,其中,隔离结构贯穿于势垒层、插入层和沟道层,且位于缓冲层上;钝化层,位于金属层的和势垒层的上表面、绝缘层的和金属层的侧壁;栅极,位于栅极开孔区域,且贯穿钝化层至金属层的上表面;源极和漏极,分别位于栅极的不同侧其中,源极和漏极贯穿于所述钝化层、势垒层、插入层和部分沟道层。本申请通过设置C:GaN绝缘层和高阻缓冲层,使得器件具有较正的阈值电压,减少器件的栅极漏电,提高了器件的栅极的耐压特性。

本发明授权绝缘栅MIS HEMT器件、制备方法、芯片及电子设备在权利要求书中公布了:1.一种绝缘栅MISHEMT器件,其特征在于,包括:衬底层,依次位于所述衬底层上的成核层、过渡层、缓冲层、沟道层、插入层和势垒层;绝缘层,位于所述势垒层上,其中,所述绝缘层的材料为:C掺杂的C:GaN,所述绝缘层的厚度范围为50nm-90nm,所述绝缘层中C元素掺杂浓度为1018cm-3-1020cm-3;金属层,位于所述绝缘层上;隔离结构,位于所述HEMT器件的侧壁,其中,所述隔离结构贯穿于所述势垒层、所述插入层和所述沟道层,且位于所述缓冲层上;钝化层,位于所述金属层的上表面和所述势垒层的上表面、所述绝缘层的侧壁和所述金属层的侧壁;栅极,位于栅极开孔区域,且贯穿所述钝化层至所述金属层的上表面;源极,位于所述栅极的一侧,其中,所述源极贯穿于所述钝化层、所述势垒层、所述插入层和部分所述沟道层;漏极,位于所述栅极的另一侧,其中,所述漏极贯穿于所述势垒层、所述插入层和部分所述沟道层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安电子科技大学广州研究院,其通讯地址为:510000 广东省广州市黄埔区中新广州知识城知明路83号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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