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龙图腾网恭喜上海图双精密装备有限公司申请的专利厚度测量装置、方法以及其光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119289877B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411845318.X，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权厚度测量装置、方法以及其光刻设备是由姜小光设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本厚度测量装置、方法以及其光刻设备在说明书摘要公布了：本公开涉及厚度测量装置、方法以及其光刻设备。根据本公开的厚度测量装置可包括：用于支撑厚度测量装置的本体；用于发射测量光的光发射模块；用于接收测量光的光接收模块；以及导柱，导柱的第一端被放置成与待加工件表面接触，其中光发射模块和光接收模块相对布置，以使得由光发射模块发出的光在光接收模块的预定接收位置处被光接收模块接收，并且预定接收位置取决于初始接收位置和待加工件厚度。根据本公开的厚度测量装置基于光接收模块接收到光的预定接收位置与初始接收位置之间的距离来确定待加工件厚度。根据本公开的厚度测量装置将待加工件的厚度转换成导柱的物理行程，从而能够适用于测量各种类型的待加工件的厚度。

本发明授权厚度测量装置、方法以及其光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种厚度测量装置，包括：用于支撑所述厚度测量装置的本体；用于发射测量光的光发射模块；用于接收测量光的光接收模块；导柱，所述导柱的第一端被放置成与待加工件表面接触，其中所述光发射模块和所述光接收模块相对布置，以使得由所述光发射模块发出的光在所述光接收模块的预定接收位置B处被所述光接收模块接收，并且所述预定接收位置B取决于初始接收位置A和所述待加工件厚度MN；沿转轴O转动的杠杆，其中所述杠杆的第一端与所述光接收模块固定并且所述杠杆的第二端与所述导柱固定；以及伸缩模块，所述伸缩模块的第一端与所述杠杆的所述第一端固定，其中所述伸缩模块为弹簧；位于所述杠杆下方、所述转轴与所述杠杆的所述第一端之间的电磁铁，其中所述电磁铁被通电以吸附所述杠杆的所述第一端向下运动，并且其中所述电磁铁被断电时所述伸缩模块推动所述杠杆的所述第一端向上运动，从而使所述杠杆的第二端顶紧所述待加工件的上表面，其中晶圆厚度MN=（POOC）×AB，其中AB为所述光接收模块分别接收到光的初始接收位置A与的预定接收位置B之间的距离，PO为所述导柱到所述转轴O的垂直距离，而OC为所述光接收模块到所述转轴O的垂直距离。

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