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龙图腾网恭喜浙江华熔科技有限公司申请的专利一种无尘抗酸石墨舟的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119118708B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411604418.3，技术领域涉及：C04B41/87；该发明授权一种无尘抗酸石墨舟的制备方法是由周志强;侯慧雷;鲍宪钧;李志恒;李文强设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种无尘抗酸石墨舟的制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体器件生产设备的制造技术，旨在提供一种无尘抗酸石墨舟的制备方法。包括：将钛酸酯类偶联剂水解得到改性溶液，将洗净后是石墨舟浸入其中浸泡；取出后清洗、烘干；在维持真空或惰性气氛的条件下对石墨舟进行灼烧处理，得到无尘抗酸石墨舟。本发明中的主要涂层材料为钛酸酯类偶联剂，发生水解后与石墨材料紧密结合形成化学交联，实现材料表面无尘保护；进一步在高温下沉积下形成TiCTiO2涂层，实现对石墨舟表面的无尘保护。本发明的方法操作简单、设备要求低，综合成本低，产品在实际生产运行中的使用效果好；不增加机械加工成本，并可以提高产品的使用寿命和防止舟印等问题。

本发明授权一种无尘抗酸石墨舟的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种无尘抗酸石墨舟的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将等静压石墨加工成石墨舟，以去离子水洗净后备用；（2）向纯度95%的乙醇中加入钛酸酯类偶联剂，乙醇与钛酸酯类偶联剂的体积质量比为100～500L︰10～50kg；混合均匀后，加入酸液调节pH值至1～5.5；在25～85℃下持续搅拌2～8h，使钛酸酯类偶联剂水解得到改性溶液；所述钛酸酯类偶联剂，是二乙酰丙酮钛酸二异丙酯、双三乙醇胺钛酸二异丙酯、异丙氧基三十二烷基苯磺酰氧基钛酸酯中的任意一种，或者是两种以上的混合物；（3）将石墨舟浸入在改性溶液中，在常温常压下浸泡5～96h；（4）取出石墨舟，以水和乙醇清洗后烘干；（5）在维持真空或惰性气氛的条件下对石墨舟进行灼烧处理：先以0.3～10℃min的速率升温至500～1100℃，保温0.5～6h；然后再自然降至室温，得到无尘抗酸石墨舟。

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