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龙图腾网恭喜南京高光半导体材料有限公司申请的专利掩膜板的制作方法及掩膜板获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119194349B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411547597.1，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权掩膜板的制作方法及掩膜板是由王亚;钱超;甘帅燕设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本掩膜板的制作方法及掩膜板在说明书摘要公布了：本公开提供一种掩膜板的制作方法及掩膜板，其中的制作方法包括：提供多个精密金属掩膜板，提供支撑掩膜板；并且包括重复如下步骤：选取多个精密金属掩膜板中的一个，对被选取的精密金属掩膜板施加张力，将其贴合至支撑掩膜板，将已对准的空置支撑开口与合格掩膜单元接合；保留已接合的合格掩膜单元，切除被选取的精密金属掩膜板的其余部分。本公开中的制作方法可显著提高精密金属掩膜板的有效利用率，也能够提高整体的张网精度。

本发明授权掩膜板的制作方法及掩膜板在权利要求书中公布了：1.一种掩膜板的制作方法，其特征在于，包括：提供多个精密金属掩膜板，所述精密金属掩膜板包括多个掩膜单元，所述多个掩膜单元包括至少一个合格掩膜单元；提供支撑掩膜板，所述支撑掩膜板包括多行支撑开口，其中任一行中的多个支撑开口均与所述多个掩膜单元一一对应；对于一行支撑开口，执行如下张网步骤：选取所述多个精密金属掩膜板中的一个，其中，被选取的精密金属掩膜板包括至少一个与空置支撑开口对应的合格掩膜单元；对被选取的精密金属掩膜板施加张力，根据掩膜单元和支撑开口的对应关系，将其贴合至所述支撑掩膜板，微调使至少一个所述空置支撑开口对准对应的合格掩膜单元；将已对准的空置支撑开口与合格掩膜单元接合；保留已接合的合格掩膜单元，切除被选取的精密金属掩膜板的其余部分；重复执行所述张网步骤，将后续选取的精密金属掩膜板中的至少一个合格掩膜单元，接合至同一行中的其他空置支撑开口，直至一行支撑开口全部与合格掩膜单元接合；以相同方法，分别使每一行支撑开口均全部与合格掩膜单元接合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人南京高光半导体材料有限公司，其通讯地址为：210000 江苏省南京市经济技术开发区红枫科技园A1栋第1层A段；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。