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龙图腾网恭喜芯聚德科技(安徽)有限责任公司申请的专利一种IC载板生产加工用蚀刻装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119300250B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411449627.5，技术领域涉及：H05K3/06；该发明授权一种IC载板生产加工用蚀刻装置是由庄欣岳;张晓峰;周灿彬设计研发完成，并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种IC载板生产加工用蚀刻装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体生产加工设备技术领域，且公开了一种IC载板生产加工用蚀刻装置，包括壳体，所述壳体的中心转动连接有花键轴，所述壳体的内侧转动设置有用于带动载板转动的固定板，所述固定板的数量设置为若干个且若干个固定板两两之间通过转轴转动连接有用于夹持载板的夹板。本发明通过夹板带动载板绕着花键轴的轴线转动，使载板与内喷淋板和外喷淋板同步转动，在保证喷淋蚀刻液相对对应载板角度，保证蚀刻均匀性的同时，通过近似于垂直与蚀刻面的离心作用甩出蚀刻槽内经过蚀刻的废弃蚀刻液，并且通过载板的水平翻转进一步增强了排出废弃蚀刻液的效果，以及对载板离心面的交替更换，提高该蚀刻装置蚀刻的质量。

本发明授权一种IC载板生产加工用蚀刻装置在权利要求书中公布了：1.一种IC载板生产加工用蚀刻装置，包括壳体（1），其特征在于：所述壳体（1）的中心转动连接有花键轴（23），所述壳体（1）的内侧转动设置有用于带动载板（6）转动的固定板（4），所述固定板（4）的数量设置为若干个且若干个固定板（4）两两之间通过转轴转动连接有用于夹持载板（6）的夹板（5）,所述夹板（5）用于夹持并带动载板（6）翻转额定角度，所述花键轴（23）的通过花键传动连接有传动轴（25），所述传动轴（25）的外侧固定连接有用于带动固定板（4）转动的一号传动杆（15）；所述壳体（1）的内侧设置有用于喷淋刻蚀载板（6）的内喷淋板（3），所述壳体（1）的内侧设置有用于喷淋刻蚀载板（6）的外喷淋板（7），所述壳体（1）的内侧固定连接有用于调节载板（6）离心面的齿环（11），所述夹板（5）传动连接有与齿环（11）配合的翻转齿轮（14），所述翻转齿轮（14）与齿环（11）配合传动带动夹板（5）翻转额定角度。

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