恭喜西安芯晖检测技术有限公司杨涛获国家专利权
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龙图腾网恭喜西安芯晖检测技术有限公司申请的专利旋转晶圆的偏心检测装置及晶圆检测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222718907U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422103064.6，技术领域涉及：G01B11/27；该实用新型旋转晶圆的偏心检测装置及晶圆检测系统是由杨涛设计研发完成，并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本旋转晶圆的偏心检测装置及晶圆检测系统在说明书摘要公布了：本公开提供了一种用于旋转晶圆的偏心检测装置及晶圆检测系统，其中，所述晶圆绕与其垂直的旋转轴线旋转，所述偏心检测装置包括：椭球镜；光源，所述光源用于朝向所述椭球镜的第一焦点发射光束；感测单元，所述感测单元设置在所述椭球镜的第二焦点处并且用于感测照射在其感测面上的光斑的光量，其中，所述光束中在所述第一焦点处被所述晶圆反射的部分形成第一反射光，所述第一反射光被所述椭球镜反射后形成第二反射光，所述第二反射光中照射所述感测面的部分形成所述光斑；确定单元，所述确定单元用于根据所述感测单元感测到的所述光量因所述晶圆的旋转而产生的变化量确定所述晶圆相对于其旋转轴线的偏心量。
本实用新型旋转晶圆的偏心检测装置及晶圆检测系统在权利要求书中公布了：1.一种用于旋转晶圆的偏心检测装置，其中，所述晶圆绕与其垂直的旋转轴线旋转，其特征在于，所述偏心检测装置包括：椭球镜；光源，所述光源用于朝向所述椭球镜的第一焦点发射光束；感测单元，所述感测单元设置在所述椭球镜的第二焦点处并且用于感测照射在其感测面上的光斑的光量，其中，所述光束中在所述第一焦点处被所述晶圆反射的部分形成第一反射光，所述第一反射光被所述椭球镜反射后形成第二反射光，所述第二反射光中照射所述感测面的部分形成所述光斑；确定单元，所述确定单元用于根据所述感测单元感测到的所述光量因所述晶圆的旋转而产生的变化量确定所述晶圆相对于其旋转轴线的偏心量。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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