杭州富博精密机械有限公司张松华获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州富博精密机械有限公司申请的专利一种磁控溅射设备视窗结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222715442U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421525151.4,技术领域涉及:C23C14/52;该实用新型一种磁控溅射设备视窗结构是由张松华;赵伟设计研发完成,并于2024-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射设备视窗结构在说明书摘要公布了:本申请属于镀膜设备技术领域,公开了一种磁控溅射设备视窗结构,包括镀膜设备壳体,所述镀膜设备壳体的侧壁上贯穿开设有观察口,所述观察口内固定设置有观察窗,所述观察口内固定设置有透明挡板,所述观察窗的侧壁与透明挡板的侧壁抵接,所述镀膜设备壳体上设置有用于阻挡透明挡板的阻挡组件。本申请具有降低观察窗被遮挡概率的效果。
本实用新型一种磁控溅射设备视窗结构在权利要求书中公布了:1.一种磁控溅射设备视窗结构,包括镀膜设备壳体1,其特征是:所述镀膜设备壳体1的侧壁上贯穿开设有观察口2,所述观察口2内固定设置有观察窗11,所述观察口2内固定设置有透明挡板12,所述观察窗11的侧壁与透明挡板12的侧壁抵接,所述镀膜设备壳体1上设置有用于阻挡透明挡板12的阻挡组件3。
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