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光库智能科技(南阳)有限公司何贵明获国家专利权

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龙图腾网获悉光库智能科技(南阳)有限公司申请的专利一种表面面型检测光学系统和检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118655078B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410858248.5,技术领域涉及:G01N21/01;该发明授权一种表面面型检测光学系统和检测方法是由何贵明;赵娟宁;王瑞娟;张赛博设计研发完成,并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种表面面型检测光学系统和检测方法在说明书摘要公布了:本发明属于光学检测技术领域,涉及一种表面面型检测光学系统和检测方法。所述系统包括激光发射器、激光扩束系统、第一14波片、第一线偏振器、第一12波片、线偏振分光棱镜、第二12波片、第二14波片、振镜、激光会聚系统、离轴平面反射镜、离轴抛物面反射镜、单摆反射镜、被测量物面、第二线偏振器、能量分光片、第一窄带滤光片、第一CCD探测器、第二窄带滤光片、成像物镜、第二CCD探测器。本申请通过分析第二CCD探测器成像信息的偏振态就可以精确得到被测量物面的表面面型缺陷信息,从而可以实现高反光表面面型缺陷的精密检测,整体操作简单且效率高。

本发明授权一种表面面型检测光学系统和检测方法在权利要求书中公布了:1.一种表面面型检测光学系统,其特征在于,所述系统包括入射投影光路、反射调节光路和反射测试光路:所述入射投影光路,包括从激光发射器至被测量物面依次设置的所述激光发射器、激光扩束系统、第一14波片、第一线偏振器、第一12波片、线偏振分光棱镜、第二12波片、第二14波片、振镜、激光会聚系统、离轴抛物反射准直系统、单摆反射镜和所述被测量物面;所述反射调节光路,包括从所述被测量物面至第一CCD探测器依次设置的所述被测量物面、所述单摆反射镜、所述离轴抛物反射准直系统、所述激光会聚系统、所述振镜、所述第二14波片、所述第二12波片、所述线偏振分光棱镜、第二线偏振器、能量分光片、第一窄带滤光片和第一CCD探测器;所述反射测试光路,包括从所述被测量物面至第二CCD探测器依次设置的所述被测量物面、所述单摆反射镜、所述离轴抛物反射准直系统、所述激光会聚系统、所述振镜、所述第二14波片、所述第二12波片、所述线偏振分光棱镜、所述第二线偏振器、所述能量分光片、第二窄带滤光片、成像物镜和第二CCD探测器;所述激光会聚系统的后焦面和所述离轴抛物反射准直系统的前焦面重合;所述离轴抛物反射准直系统包括依次设置的离轴平面反射镜和离轴抛物面反射镜,所述离轴平面反射镜靠近所述激光会聚系统设置,所述离轴抛物面反射镜靠近所述单摆反射镜设置;所述第二12波片为可旋转设置,所述第二12波片的旋转角度范围为-90°至+90°。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人光库智能科技(南阳)有限公司,其通讯地址为:473000 河南省南阳市卧龙区龙升工业园淯龙光电园12号楼3楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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