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龙图腾网恭喜华中科技大学申请的专利一种狭长形的压电MEMS微镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115561895B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211280245.5，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权一种狭长形的压电MEMS微镜是由余洪斌;张峻宁;王岩;吕途南设计研发完成，并于2022-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种狭长形的压电MEMS微镜在说明书摘要公布了：本发明公开了一种狭长形的压电MEMS微镜，属于微机电系统技术领域，包括：狭长形的镜面层；支撑柱，与镜面层连接；驱动层，包括支撑平台和对称分布在其两侧的四个压电驱动臂；支撑平台通过支撑柱与镜面层连接；压电驱动臂包括弹簧、压电驱动器和形变传感器；压电驱动臂通过弹簧与支撑平台连接；外侧框架与各个压电驱动臂远离对应弹簧的一侧连接。本发明采用驱动层和镜面层分离的双层结构设计，上层镜面层的长宽比例较大，特别适用于狭长型光斑的应用场景。通过将压电驱动器中悬臂梁沿着与X轴方向成一定的夹角范围进行布置，使支撑平台两侧的压电驱动臂同时获得绕X、Y轴的较大转动能力，可以实现镜面层的多自由度运动和大的准静态转角。

本发明授权一种狭长形的压电MEMS微镜在权利要求书中公布了：1.一种狭长形的压电MEMS微镜，其特征在于，包括：狭长形的镜面层；支撑柱，与所述镜面层连接；驱动层，包括支撑平台和对称分布在其两侧的四个压电驱动臂；所述支撑平台通过所述支撑柱与所述镜面层连接；所述压电驱动臂包括依次连接的弹簧、形变传感器和压电驱动器；所述压电驱动臂通过所述弹簧与所述支撑平台连接；外侧框架，与各个所述压电驱动臂远离对应所述弹簧的一侧连接；其中，定义所述支撑平台的横向中轴线为X轴，纵向中轴线为Y轴，垂直所述镜面层的方向为Z轴；各个所述压电驱动器中悬臂梁均需要沿着与X轴方向成一定的夹角范围进行布置，以同时获得绕X轴和绕Y轴的较大转动能力；通过为至少一个所述压电驱动器施加设定的驱动电压，能够使所述镜面层绕X轴或Y轴轴向转动，或沿Z轴上下平动；四个所述压电驱动臂沿X轴对称设置在所述支撑平台的左、右两侧，同侧的两个所述压电驱动臂沿X轴上下对称；所述压电驱动器为一个折叠梁，包括多个级联且交错分布的长悬臂梁和短悬臂梁，每个所述压电驱动臂中的所述长悬臂梁和所述短悬臂梁相互平行；每个所述长悬臂梁和所述短悬臂梁均自下而上为包括衬底层、底电极、压电层和顶电极的层级结构；所述驱动电压通过所述顶电极和所述底电极进行输入；通过在所述长悬臂梁和所述短悬臂梁施加极性相反的驱动电压来提升驱动效果。

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