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龙图腾网恭喜南京诚芯集成电路技术研究院有限公司申请的专利一种判断通孔开路缺陷的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114119544B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111414177.2，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种判断通孔开路缺陷的方法是由苏晓菁;韦亚一;粟雅娟;张利斌;刘畅;张世鑫设计研发完成，并于2021-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种判断通孔开路缺陷的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及集成电路技术领域，具体涉及一种判断通孔开路缺陷的方法；包括：定义金属轮廓台阶长度，并微分化金属轮廓得到金属轮廓面积；对通孔轮廓面积进行计算，并将通孔轮廓替换成和通孔轮廓面积相等的正方形；计算所述正方形与所述金属轮廓的重叠面积；基于重叠面积推算沿金属轮廓方向和垂直金属轮廓方向潜在的开路缺陷概率，从而判断通孔开路是否缺陷，套刻误差会导致通孔无法准确的落在预定设计位置，最终会落在一定范围内，通过推算开路的缺陷概率，判断在范围内是否会发生开路，解决现有技术只能确定预定位置是否开路，无法确定工艺波动下的开路风险。

本发明授权一种判断通孔开路缺陷的方法在权利要求书中公布了：1.一种判断通孔开路缺陷的方法，其特征在于，包括以下步骤：定义金属轮廓台阶长度，并微分化金属轮廓得到金属轮廓面积；对通孔轮廓面积进行计算，并将通孔轮廓替换成和通孔轮廓面积相等的正方形；计算所述正方形与所述金属轮廓的重叠面积；基于所述重叠面积推算沿所述金属轮廓方向和垂直所述金属轮廓方向潜在的开路缺陷概率，从而判断通孔开路是否缺陷；所述推算沿金属轮廓方向开路缺陷概率的具体方式为：设定所述金属轮廓同方向发生通孔开路的概率安全阈值；通过所述正方形与所述金属轮廓同方向的移动距离，计算同方向重叠面积；将所述通孔轮廓的原始面积与所述同方向重叠面积相除，得到同向安全阈值；基于所述同向安全阈值推算沿所述金属轮廓方向的开路缺陷概率；所述推算垂直金属轮廓方向开路缺陷概率的具体方式为：设定与所述金属轮廓垂直方向发生通孔开路的概率安全阈值；通过所述正方形与所述金属轮廓垂直方向移动的距离，计算垂直方向重叠面积；将所述通孔轮廓的原始面积与所述垂直方向重叠面积相除，得到垂直安全阈值，基于所述垂直安全阈值推算垂直于所述金属轮廓线方向的开路缺陷概率。

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