恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司赵康梅获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利防撞装置及光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114690582B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011632415.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权防撞装置及光刻设备是由赵康梅;郑清泉;丛国栋;杨存攀设计研发完成，并于2020-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本防撞装置及光刻设备在说明书摘要公布了：本发明提供的一种防撞装置和光刻设备，其中防撞装置包括防撞组件和控制组件，当外力撞击防撞组件中的缓冲组件时，缓冲组件推动防撞组件中的活塞组件朝向位于防撞组件的壳体内的压力腔运动以压缩压力腔，压力腔产生一反作用力，进而对该外力进行缓冲。同时，缓冲组件推动活塞朝向压力腔运动时，安装在缓冲组件上的感触器和安装在壳体上的传感器相互脱离或相互靠近至预定距离时，控制组件发出指令。如此一来，防撞装置用于对运动台进行防撞时，不仅可以对外力撞击时产生的力进行缓冲，同时可以通过控制组件发出指令来控制运动台的运动，进而避免出现运动台继续运动带来的二次或多次撞击而导致的运动台损坏的问题。
本发明授权防撞装置及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种防撞装置，其特征在于，包括：防撞组件，所述防撞组件包括液压缓冲器和缓冲组件，所述液压缓冲器包括壳体和活塞组件，所述壳体内具有第一空腔，所述活塞组件的一端伸入所述第一空腔以将所述第一空腔分割为压力腔和具有液体的液压腔，所述活塞组件的另一端与所述缓冲组件连接，用于在外力撞击所述缓冲组件时，所述缓冲组件推动所述活塞朝向所述压力腔的方向运动以挤压所述压力腔；控制组件，所述控制组件包括安装在所述缓冲组件上的感触器和安装在所述壳体上的传感器，所述传感器和所述感触器用于在所述缓冲组件推动所述活塞朝向所述压力腔运动时相互脱离或相互靠近至预定距离，以发出指令。
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