恭喜株式会社迪思科丹野宁获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社迪思科申请的专利去疵性评价装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112928036B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011388521.0，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权去疵性评价装置是由丹野宁设计研发完成，并于2020-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本去疵性评价装置在说明书摘要公布了：本发明提供去疵性评价装置，其降低对晶片进行吸引保持的卡盘工作台对去疵性的评价的影响。去疵性评价装置包含：去疵判定单元，其具有向晶片照射激光束的激光束照射单元和向晶片照射微波并接收被晶片反射的微波的反射波的发送接收单元，该去疵判定单元判定包含对晶片进行磨削而生成的磨削应变的去疵层是否具有去疵性；以及卡盘工作台，其利用保持面对该晶片进行保持。卡盘工作台具有：导电性的非金属多孔部件，其构成保持面，具有反射或吸收微波的性质；以及基座部件，其具有向非金属多孔部件传递负压的负压传递路。
本发明授权去疵性评价装置在权利要求书中公布了：1.一种去疵性评价装置，其中，该去疵性评价装置包含：去疵判定单元，其具有向晶片照射激光束的激光束照射单元和向晶片照射微波并接收被晶片反射的微波的发送接收单元，该去疵判定单元判定包含对晶片进行磨削而生成的磨削应变的去疵层是否具有去疵性；以及卡盘工作台，其利用保持面对该晶片进行保持，该卡盘工作台具有：导电性的非金属多孔部件，其构成该保持面，具有反射或吸收该微波的性质；以及基座部件，其使该保持面露出而围绕该非金属多孔部件，并且具有向该非金属多孔部件传递负压的负压传递路。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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