恭喜日本株式会社日立高新技术科学岩堀敏行获国家专利权
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龙图腾网恭喜日本株式会社日立高新技术科学申请的专利试样保持架和带电粒子束装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112563102B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011012007.7,技术领域涉及:H01J37/20;该发明授权试样保持架和带电粒子束装置是由岩堀敏行设计研发完成,并于2020-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本试样保持架和带电粒子束装置在说明书摘要公布了:提供试样保持架和带电粒子束装置,能够抑制装置结构变得复杂,并且能够容易地变更试样的位置和姿态。试样保持架19具有基础部41、试样搭载部42、旋转引导部43、冷却载台46、连接部件47、第1支承部和固定引导部48。基础部41固定于由载台驱动机构13旋转驱动的载台12。旋转引导部43引导基础部41和试样搭载部42的同步旋转。冷却载台46对试样S进行冷却。连接部件47与冷却载台46连接。第1支承部支承由载台12旋转驱动的基础部41。固定引导部48经由第1支承部而与基础部41连接,并且,独立于基础部41而引导连接部件47的固定。
本发明授权试样保持架和带电粒子束装置在权利要求书中公布了:1.一种带电粒子束装置,其特征在于,所述带电粒子束装置具有试样保持架,所述试样保持架具有:基础部,其固定于驱动载台;试样搭载部,其搭载试样;驱动引导部,其引导所述基础部和所述试样搭载部的同步的驱动;功能部,其对所述试样作用规定功能;连接部件,其与所述功能部连接;第1支承部,其将由所述驱动载台驱动的所述基础部与所述连接部件之间支承为能够相对移动;以及固定引导部,其经由所述第1支承部而与所述基础部连接,并且,独立于所述基础部而引导所述连接部件的固定,所述带电粒子束装置还具有:试样室,其配置有所述驱动载台;带电粒子束镜筒,其对所述试样照射带电粒子束;更换室,其安装于所述试样室;开闭部,其对所述试样室与所述更换室之间进行开闭;以及搬运部件,其在所述试样室与所述更换室之间搬运所述试样保持架。
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