恭喜东京毅力科创株式会社藤原润获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利探测器和探针卡的预热方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112230028B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010560918.7，技术领域涉及：G01R1/073；该发明授权探测器和探针卡的预热方法是由藤原润设计研发完成，并于2020-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本探测器和探针卡的预热方法在说明书摘要公布了：本发明提供探测器和探针卡的预热方法，能够将探针卡和吸盘顶部之间的间隔保持为固定地进行探针卡的预热。探测器包括多个检查室，多个检查室的每个检查室包括探针卡、吸盘顶部和温度调整部。探针卡具有多个探头。吸盘顶部能够载置晶圆。温度调整部对吸盘顶部进行温度调整。并且，探针卡和吸盘顶部中的至少一者包括间隔调整构件，该间隔调整构件将探针卡和吸盘顶部之间的间隔保持为固定。在吸盘顶部未载置晶圆的状态下，且是在探针卡和吸盘顶部隔着间隔调整构件相接触的状态下，探测器借助利用温度调整部进行了温度调整的吸盘顶部的热量来进行探针卡的预热。
本发明授权探测器和探针卡的预热方法在权利要求书中公布了：1.一种探测器，该探测器包括多个检查室，其中，所述多个检查室的每个检查室包括：探针卡，其具有多个探头；吸盘顶部，其能够载置晶圆；以及温度调整部，其对所述吸盘顶部进行温度调整，所述探针卡和所述吸盘顶部中的至少一者包括间隔调整构件，该间隔调整构件将所述探针卡和所述吸盘顶部之间的间隔保持为固定，在所述吸盘顶部未载置晶圆的状态下，且是在所述探针卡和所述吸盘顶部隔着所述间隔调整构件相接触的状态下，借助利用所述温度调整部进行了温度调整的所述吸盘顶部的热量来进行所述探针卡的预热，其中，在所述探针卡和未载置晶圆的状态的所述吸盘顶部之间的间隔借助所述间隔调整构件而保持为固定时，所述探针卡和未载置晶圆的状态的所述吸盘顶部之间的间隔比所述探针卡和载置晶圆的状态的所述吸盘顶部之间的间隔窄。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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