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龙图腾网恭喜科磊股份有限公司申请的专利用于缺陷分类的多波长干涉法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114858809B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210550590.X，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权用于缺陷分类的多波长干涉法是由A·曾;海伦·刘设计研发完成，并于2019-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于缺陷分类的多波长干涉法在说明书摘要公布了：本申请实施例涉及用于缺陷分类的多波长干涉法。一种检验系统可包含耦合到差分干涉对比成像工具的控制器，所述差分干涉对比成像工具用于基于两个经剪切照明光束的照明产生样本的图像。所述控制器可基于所述样本上的缺陷的第一图像集确定第一缺陷诱发相移，所述第一图像集具有第一选定照明光谱及所述两个经剪切照明光束之间的两个或更多个选定诱发相差；基于所述缺陷的第二图像集确定第二缺陷诱发相移，所述第二图像集具有第二选定照明光谱及所述两个经剪切照明光束之间的两个或更多个选定诱发相差；及基于所述第一相移与所述第二相移的比较将所述缺陷分类为金属或非金属。

本发明授权用于缺陷分类的多波长干涉法在权利要求书中公布了：1.一种检验系统，其包括：差分干涉对比成像工具，其经配置以基于两个经剪切照明光束的照明产生样本的一或多个图像，其中所述两个经剪切照明光束的照明光谱及所述两个经剪切照明光束之间的相差可针对所述样本的任何特定图像来选择；及控制器，其通信地耦合到所述成像工具，所述控制器经配置以执行相位检索分析以基于具有所述两个经剪切照明光束之间的不同诱发相位偏差的所述样本的所述一或多个图像来提取或隔离缺陷诱发相移，其中所述控制器包含经配置以执行程序指令的一或多个处理器，所述程序指令致使所述一或多个处理器：接收所述样本上的缺陷的第一图像集，所述第一图像集具有第一选定照明光谱及所述两个经剪切照明光束之间的两个或更多个选定诱发相差；基于所述第一选定照明光谱确定与所述缺陷相关联的第一缺陷诱发相移；接收所述样本上的缺陷的第二图像集，所述第二图像集具有不同于所述第一选定照明光谱的第二选定照明光谱及所述两个经剪切照明光束之间的两个或更多个选定诱发相差；基于所述第二选定照明光谱确定与所述缺陷相关联的第二缺陷诱发相移；及基于所述第一缺陷诱发相移与所述第二缺陷诱发相移的比率的选定阈值将所述缺陷分类为金属或非金属，其中所述选定阈值基于：包括所述缺陷的所关注的材料、所述第一选定照明光谱、或所述第二选定照明光谱中的至少一者进行调整，其中将所述缺陷分类为金属或非金属包括：如果所述比率的大小等于或高于所述选定阈值，那么将所述缺陷分类为金属；或如果所述比率的所述大小低于所述选定阈值，那么将所述缺陷分类为非金属。

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