恭喜应用材料以色列公司O·施内尤获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料以色列公司申请的专利评估对象的区域的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112585735B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980051549.4，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权评估对象的区域的方法是由O·施内尤;R·纳夫塔利;R·普拉特设计研发完成，并于2019-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本评估对象的区域的方法在说明书摘要公布了：一种用于评估对象的区域的方法，方法可包括对于区域的第一子区域直到区域的倒数第二子区域中的每个子区域，重复以下步骤：a通过带电粒子成像器来获取子区域的带电粒子图像；以及b通过带电粒子研磨机来研磨子区域，以暴露区域的另一个子区域；通过带电粒子成像器来获取区域的最后一个子区域的带电粒子图像；以及基于区域的第一子区域直到最后一个子区域的带电粒子图像来产生关于区域的内容的三维信息。
本发明授权评估对象的区域的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于利用具有带电粒子成像器和带电粒子研磨机的工具来评估对象的方法，所述方法包含：对于具有多个垂直堆叠层形成于其上的所述对象的区域应用迭代的成像和研磨工艺，包括：a通过所述带电粒子成像器来获取所述区域的第一子区域的带电粒子图像；b通过所述带电粒子研磨机并且沿着与形成在所述对象上的所述多个垂直堆叠层不平行定向的研磨平面来研磨所述第一子区域，以暴露所述区域的在所研磨的第一子区域正下方的另一个子区域；以及c对所述区域的所述第一子区域下方的多个子区域到所述区域的倒数第二子区域中的每一者，重复获取和研磨步骤；通过所述带电粒子成像器来获取所述区域的所述倒数第二子区域正下方的最后一个子区域的带电粒子图像；以及基于所述区域的所述第一子区域到最后一个子区域的带电粒子图像来产生关于所述区域的内容的三维信息。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料以色列公司，其通讯地址为：以色列瑞哈佛特市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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