恭喜基础科学公司T·约斯特获国家专利权
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龙图腾网恭喜基础科学公司申请的专利用于对半导体晶片集成分解和扫描的系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110034042B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811466084.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于对半导体晶片集成分解和扫描的系统是由T·约斯特;D·R·维德林;B·马特;J·卡泽尔;J·海因;J·S·李;J·M·金;S·H·苏蒂卡设计研发完成，并于2018-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于对半导体晶片集成分解和扫描的系统在说明书摘要公布了：描述了用于半导体晶片的集成分解和扫描的系统和方法，其中单个腔室用于分解和扫描感兴趣的晶片。
本发明授权用于对半导体晶片集成分解和扫描的系统在权利要求书中公布了：1.一种采用喷嘴对半导体晶片的表面进行分解和扫描的方法，包括：利用喷雾器将分解流体喷洒到半导体晶片的表面上；在利用喷雾器将分解流体喷洒到半导体晶片的表面上之后，将喷嘴定位在所述半导体晶片的表面上方；将扫描流体引至所述喷嘴的入口端口，并且经由第一喷嘴端口将扫描流体流引导到所述半导体晶片的表面上；将所述扫描流体流通过所述喷嘴的细长通道沿着所述半导体晶片的表面朝向所述喷嘴的第二喷嘴端口引导；以及经由与所述喷嘴的出口端口流体连通的所述第二喷嘴端口从所述半导体晶片的表面移除所述扫描流体流，其中将扫描流体引至所述喷嘴的入口端口以及经由第一喷嘴端口将扫描流体流引导到所述半导体晶片的表面上包括通过第一泵的操作将扫描流体引至所述喷嘴的入口端口以及经由所述第一喷嘴端口将扫描流体流引导到所述半导体晶片的表面上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人基础科学公司，其通讯地址为：美国内布拉斯加州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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