恭喜ASML荷兰有限公司J·范唐根获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利控制图案化过程的方法、设备制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115327861B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211006576.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权控制图案化过程的方法、设备制造方法是由J·范唐根;E·G·麦克纳马拉;P·C·欣南;M·乔彻姆森设计研发完成，并于2018-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本控制图案化过程的方法、设备制造方法在说明书摘要公布了：公开了控制图案化过程的方法。在一种布置中，获得从对穿过衬底上的结构的目标层的蚀刻路径中的倾斜的测量得到的倾斜数据。该倾斜表示蚀刻路径的方向与目标层的平面的垂直线偏离。倾斜数据被用于控制用于在另外的层中形成图案的图案化过程。
本发明授权控制图案化过程的方法、设备制造方法在权利要求书中公布了：1.一种计算机程序产品，包括具有指令在其上的计算机非瞬态可读介质，所述指令当由计算机系统执行时被配置为使所述计算机系统执行至少如下操作：获得从对穿过位于衬底上的目标层的结构的蚀刻路径中的倾斜的测量得到的倾斜数据，所述倾斜表示所述蚀刻路径的方向与所述目标层的平面的垂直线的偏离；以及使用所述倾斜数据来配置用于在另外的层中形成图案的图案化过程或沉积步骤，所述图案化过程或所述沉积步骤的配置与控制不同层中产生的图案之间的刻套相关联。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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