恭喜朗姆研究公司帕特里克·布莱琳获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利带有衬底背面清扫和散热的静电夹持基座获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111670492B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980011311.9，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权带有衬底背面清扫和散热的静电夹持基座是由帕特里克·布莱琳;蒂莫西·S·托马斯;拉梅什·钱德拉斯哈兰;文森特·布克哈特设计研发完成，并于2019-01-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本带有衬底背面清扫和散热的静电夹持基座在说明书摘要公布了：一种静电衬底卡盘带有衬底背面清扫，以防止偶然的背面沉积，并提供散热，以防止或减轻密封件失效。
本发明授权带有衬底背面清扫和散热的静电夹持基座在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘衬底基座，其包括：静电卡盘，其具有用于夹持衬底的夹持表面，基座架，设置在所述基座架上的散热元件；和布置成支撑所述静电卡盘并安装到所述基座架上的基座杆，所述基座杆包括：a杆壁，在所述杆壁之内或附近设置有一个或多个导管，其用于向所述静电卡盘供应气体；b热交换表面，其用于将热量从所述杆壁交换到设置在所述基座架上的所述散热元件，其中，所述热交换表面是从所述杆壁延伸的突起，所述突起布置成接触所述基座架上的所述散热元件；和c布置成与设置在所述杆壁和所述基座架之间的密封件接合的密封接口，其中所述密封接口偏离所述杆壁上的所述热交换表面使得所述密封件相对于所述热交换表面经受较少的热量的偏移距离，其中，所述基座杆包括：第一远端，其被布置为支撑所述静电卡盘；和第二远端，其包括被布置成与所述密封件接合的所述密封接口，其中，所述热交换表面在所述基座杆的所述第一远端和所述第二远端中间。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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