长沙元戎科技有限责任公司齐卫冲获国家专利权
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龙图腾网获悉长沙元戎科技有限责任公司申请的专利一种提高水冷能力的间接水冷磁控溅射阴极获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222795703U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421049100.9，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种提高水冷能力的间接水冷磁控溅射阴极是由齐卫冲;慕容明杰设计研发完成，并于2024-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提高水冷能力的间接水冷磁控溅射阴极在说明书摘要公布了：本实用新型涉及间接水冷磁控溅射阴极技术领域，且公开了一种提高水冷能力的间接水冷磁控溅射阴极，包括支撑底板，支撑底板的顶端中间部分开设有放置槽，支撑底板的底端设有支撑杆，支撑底板的顶端设有装置主体，装置主体的内侧设有永磁体，永磁体的两侧均设有溅射阴极，装置主体的顶端设有靶材，靶材的底端设有铟层，靶材的底端设有无氧铜背板，无氧铜背板的两侧均设有固定侧块，固定侧块的表面设有固定旋钮，无氧铜背板的底端设有铍铜背板，本实用新型通过设有装置主体和无氧铜背板以及铍铜背板便于使装置在进行使用时提升了装置的可承载单位面积功率，且在使用过程中还可通过铍铜背板的设置，使导热效率比较厚的背板更高。
本实用新型一种提高水冷能力的间接水冷磁控溅射阴极在权利要求书中公布了：1.一种提高水冷能力的间接水冷磁控溅射阴极，包括支撑底板1；其特征在于：装置主体2，所述装置主体2安装在支撑底板1的顶端；靶材3，所述靶材3安装在装置主体2的顶端中间部分；无氧铜背板4，所述无氧铜背板4安装在靶材3的底端，所述无氧铜背板4的两侧均设有固定侧块41，所述固定侧块41的表面设有固定旋钮42，所述固定旋钮42旋转安装在固定侧块41的表面，所述固定侧块41与无氧铜背板4固定连接；铍铜背板5，所述铍铜背板5安装在无氧铜背板4的底端，所述铍铜背板5的两侧表面均设有密封圈51，所述铍铜背板5的底端两侧均设有固定块52，所述密封圈51固定安装在铍铜背板5的两侧表面，所述固定块52固定安装在铍铜背板5的底端两侧。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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