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上海馨欧集成微电有限公司吴进波获国家专利权

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龙图腾网获悉上海馨欧集成微电有限公司申请的专利弹性波谐振器、制作方法与通信设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118487574B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410555594.6,技术领域涉及:H03H9/02;该发明授权弹性波谐振器、制作方法与通信设备是由吴进波设计研发完成,并于2024-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。

弹性波谐振器、制作方法与通信设备在说明书摘要公布了:本发明提供一种弹性波谐振器、制作方法与通信设备,弹性波谐振器包括顶电极、压电薄膜层和底电极,顶电极包括第一汇流条、第二汇流条、第一叉指电极和第二叉指电极,第一叉指电极和第二叉指电极均位于第一汇流条和第二汇流条之间;压电薄膜层位于顶电极下方;底电极位于压电薄膜层的下方,在沿第一汇流条指向第二汇流条的方向上,底电极的端部设置有负载条,负载条的延伸方向垂直于第一汇流条指向第二汇流条的方向。本发明通过在底电极的端部设置负载条来降低该区域的声速,实现对横向高阶模式的抑制,由于整个底电极的电势相同,即使负载条为导电材料也不会出现短路情况,器件可靠性高,且制作工艺简单,对光刻精度及对准精度要求低。

本发明授权弹性波谐振器、制作方法与通信设备在权利要求书中公布了:1.一种弹性波谐振器,其特征在于,包括:顶电极,所述顶电极包括第一汇流条、第二汇流条、第一叉指电极和第二叉指电极,所述第一叉指电极和所述第二叉指电极均位于所述第一汇流条和所述第二汇流条之间,在声波传播方向上,所述第一叉指电极和所述第二叉指电极交替排布,所述第一叉指电极与所述第一汇流条电连接,所述第二叉指电极与所述第二汇流条电连接;压电薄膜层,位于所述顶电极下方;底电极,位于所述压电薄膜层的下方,所述底电极为悬浮底电极,在沿所述第一汇流条指向所述第二汇流条的方向上,所述底电极的端部设置有负载条以抑制横向高阶模式声波,所述负载条为导电材料,所述负载条的延伸方向垂直于所述第一汇流条指向所述第二汇流条的方向。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海馨欧集成微电有限公司,其通讯地址为:201800 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号6幢101室J;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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