上海广川科技有限公司曲泉铀获国家专利权
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龙图腾网获悉上海广川科技有限公司申请的专利一种吸附夹持式晶圆翻转装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222801783U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420847819.0，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种吸附夹持式晶圆翻转装置是由曲泉铀;杨琦;刘恩龙;武一鸣;中島隆志;川辺哲也;古市昌稔;代国俊;耿玉龙;张平;周伟强;王贺明;贾豪;李家璇;焦子洋;西超博;方指东;苗义;朱骏驰;王晨旭;张文磊;徐圳设计研发完成，并于2024-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种吸附夹持式晶圆翻转装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种吸附夹持式晶圆翻转装置包括：基座、手指单元、翻转单元、伸缩单元，翻转单元包括：旋转传动机构、主转轴、第一轴承组件、气管件，主转轴经第一轴承组件与基座的主轴孔转轴连接，主转轴上设有气道，且气道的两端口分设在主转轴头部及中部，旋转传动机构与主转轴传动连接；手指单元与主转轴头部连接，手指单元上吸盘对应的气路经气管件与主转轴头部气道端口连通；伸缩单元包括：伸缩传动机构，推杆，第二轴承组件，伸缩传动机构固定在基座一侧，第二轴承组件固定在伸缩传动机构的伸缩端，推杆尾端与第二轴承组件的轴承端连接、杆体伸入主转轴的轴心孔道，与手指单元的限位端组成晶圆支撑点。籍此以支持吸附与夹持双模式。
本实用新型一种吸附夹持式晶圆翻转装置在权利要求书中公布了：1.一种吸附夹持式晶圆翻转装置，其特征在于包括：基座、手指单元、翻转单元、伸缩单元，翻转单元包括：旋转传动机构、主转轴组件、气管件，所述主转轴组件与基座的主轴孔连接，所述主转轴组件上设有气道，且气道的两端口分设在主转轴组件的头部及中部，所述旋转传动机构与主转轴组件传动连接；所述手指单元与主转轴组件头部连接，所述手指单元上设有吸盘及对应的气路，所述气路与主转轴组件头部气道端口经气管件连通；所述伸缩单元固定在基座一侧，所述伸缩单元的推杆穿过主转轴组件的轴心孔道向外伸缩，以与手指单元的限位端定义出晶圆支撑位。
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