厦门特仪科技有限公司王世锐获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门特仪科技有限公司申请的专利一种晶圆分选机用晶圆顶针机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222801785U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420837045.3,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种晶圆分选机用晶圆顶针机构是由王世锐;康强强;翟跃飞设计研发完成,并于2024-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆分选机用晶圆顶针机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆分选机用晶圆顶针机构,包括:固定件,所述固定件的一侧位置可调节安装有支座板;移动件,可移动安装于所述支座板上,移动件与固定件之间固定安装有拉伸弹簧,移动件的外侧呈台阶状设置有安装部,安装部内侧的移动件上内凹设置嵌装槽;减振件,固定嵌装于所述嵌装槽内;顶针杆件,内端螺接到所述安装部,且其内端部固定插接到减振件的固定孔内;顶针驱动机构,包含驱动电机、以及驱动凸轮,所述驱动凸轮的侧边抵接到移动件的内端部;检测机构,包含安装于顶针杆件外侧的绝缘固定件,绝缘固定件的外围固定套设有导体。本实用新型能够有效解决因运行速率提升所导致的振动问题,从而提升对晶片的顶出效率。
本实用新型一种晶圆分选机用晶圆顶针机构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆分选机用晶圆顶针机构,其特征在于,包括:固定件(1),固定安装于相应的工作台上,所述固定件(1)的一侧位置可调节安装有相应的支座板(2);移动件(3),可移动安装于所述支座板(2)上,所述移动件(3)与固定件(1)之间固定安装有一相应的拉伸弹簧(4),移动件(3)的外侧呈台阶状设置有一相应的安装部(301),所述安装部(301)内侧的移动件(3)上内凹设置有相应的嵌装槽(302);减振件(5),固定嵌装于所述嵌装槽(302)内,所述减振件(5)的外侧设置有一面向所述安装部(301)的固定孔;顶针杆件(6),内端螺接到所述移动件(3)的安装部(301),且其内端部贯穿所述安装部(301)并固定插接到所述减振件(5)的固定孔内;顶针驱动机构(7),包含固定安装于所述支座板(2)上的驱动电机(701)、以及固定安装于所述驱动电机(701)的输出轴端的驱动凸轮(702),所述驱动凸轮(702)的侧边抵接到所述移动件(3)的内端部;检测机构(8),包含固定安装于所述顶针杆件(6)外侧的绝缘固定件(801),所述绝缘固定件(801)的外围固定套设有一圈相应的导体(802),所述导体(802)通过相应的导线连接到外界弱电源。
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