江苏艾匹克半导体设备有限公司沈恒文获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏艾匹克半导体设备有限公司申请的专利一种硅外延设备的进气口装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222795790U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420826096.6，技术领域涉及：C30B29/06；该实用新型一种硅外延设备的进气口装置是由沈恒文;程宣林;金修领;郝小峰;刘彤辉;高月华设计研发完成，并于2024-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅外延设备的进气口装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种硅外延设备的进气口装置，包括硅外延设备本体，所述硅外延设备本体的顶部设置有进气机构，所述硅外延设备本体的外部设置有排污组件，所述进气机构包括与硅外延设备本体固定连接的箱体，所述箱体的内部设置有过滤仓和干燥仓，所述箱体的固定连接有进气扇和冷风管。该硅外延设备的进气口装置，通过设置进气机构，为硅外延设备的进气口装置增加了过滤和干燥功能，方便对气体中的杂质和进行过滤，减少冷风中的水汽，提高硅外延设备的硅外延效果，解决了通过进风管道进行进气，不具备过滤功能，在硅外延设备的进气过程中，不方便对气体进行过滤和干燥，容易造成杂质和水汽进入硅外延设备的内部，影响硅外延设备的硅外延效果的问题。
本实用新型一种硅外延设备的进气口装置在权利要求书中公布了：1.一种硅外延设备的进气口装置，包括硅外延设备本体1，其特征在于：所述硅外延设备本体1的顶部设置有进气机构，所述硅外延设备本体1的外部设置有排污组件；所述进气机构包括与硅外延设备本体1固定连接的箱体2，所述箱体2的内部设置有过滤仓201和干燥仓202，所述箱体2的固定连接有进气扇3和冷风管4，所述过滤仓201的内部固定连接有过滤网5，所述过滤仓201的内部活动安装与清理组件6，所述箱体2的左侧固定连接有收集箱8，所述收集箱8的左侧固定连接有吸风机9，所述收集箱8的顶部固定连接有与箱体2固定连接的吸尘管7，所述过滤仓201的内部插接有第一活性炭板10，所述干燥仓202的内部插接有干燥板11和第二活性炭板12。
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