东莞市晟鼎精密仪器有限公司苏宜鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市晟鼎精密仪器有限公司申请的专利一种晶圆热处理炉体加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222799647U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420825606.8，技术领域涉及：F27D11/00；该实用新型一种晶圆热处理炉体加热装置是由苏宜鹏;冼健威;侯振健设计研发完成，并于2024-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆热处理炉体加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆热处理炉体加热装置，包括炉体、炉门、支架、晶圆载盘、推动装置、加热系统、抽真空接口、抽风接口以及水冷系统，所述晶圆载盘安装于支架上，所述支架设置于炉门上，所述炉体内设有真空腔，所述炉门配合推动装置可推动式安装于炉体上，所述晶圆载盘随着炉门的推拉运动而推进或推出于真空腔，所述炉体内设有加热系统，所述加热系统分布于晶圆载盘的上下两层，所述炉体顶部设有抽真空接口，所述抽真空接口连通于真空腔，若干个所述抽风接口分别连通于上下两层的加热系统，同时，所述炉体的侧壁设有水冷系统。
本实用新型一种晶圆热处理炉体加热装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆热处理炉体加热装置，其特征在于：包括炉体、炉门、支架、晶圆载盘、推动装置、加热系统、抽真空接口、抽风接口以及水冷系统，所述晶圆载盘安装于支架上，所述支架设置于炉门上，所述炉体内设有真空腔，所述炉门配合推动装置可推动式安装于炉体上，所述晶圆载盘随着炉门的推拉运动而推进或推出于真空腔，所述炉体内设有加热系统，所述加热系统分布于晶圆载盘的上下两层，所述炉体顶部设有抽真空接口，所述抽真空接口连通于真空腔，若干个所述抽风接口分别连通于上下两层的加热系统，同时，所述炉体的侧壁设有水冷系统。
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