上海交通大学;上海微电子装备(集团)股份有限公司李煜芝获国家专利权
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龙图腾网获悉上海交通大学;上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利曝光方法及曝光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118092085B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410383129.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权曝光方法及曝光装置是由李煜芝;戴文斌;张民山;蓝科;周畅设计研发完成，并于2024-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光方法及曝光装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种曝光方法及曝光装置。曝光方法，其一边使掩模与基板在第一方向上同步移动，一边通过投影光学系统对该基板执行曝光，以使掩模上的图案被转移至基板上；以及移动动作，其使该基板在与第一方向正交的第二方向上移动；曝光方法还包括：动态对准系统与设置在基板或基板台上的动态对准标记对向设置，动态对准标记设置为长条形且其长度方向为第一方向；通过动态对准系统，在基板沿所述第一方向的移动过程中以预设的检测间隔时长对动态对准标记进行检测；动态对准系统基于检测结果，使得掩模与基板的位置吻合。本发明能够提高基板台在高速运动工况下的定位效率和定位精度，能够提高产率。
本发明授权曝光方法及曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种曝光方法，其一边使掩模与基板在第一方向上同步移动，一边通过投影光学系统对该基板执行曝光，以使所述掩模上的图案被转移至所述基板上；以及移动动作，其使该基板在与所述第一方向正交的第二方向上移动；其特征在于，还包括：动态对准系统，所述动态对准系统与设置在所述基板或所述基板台上的动态对准标记对向设置，所述动态对准标记设置为长条形，所述动态对准标记的长度方向为所述第一方向；所述动态对准标记为一条单线性标记、沿所述基板的运动方向间隔设置的至少两条第一子线性标记以及沿所述基板的运动方向间隔设置的至少两个线性组合标记的其中之一；所述单线性标记的长度大于或等于所述预设的检测间隔时长与所述基板的运动速度的乘积；通过所述动态对准系统，在所述基板沿所述第一方向的移动过程中以预设的检测间隔时长对所述动态对准标记进行检测；所述动态对准系统基于检测结果，使得所述掩模与所述基板的位置吻合。
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