通威微电子有限公司苗家旺获国家专利权
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龙图腾网获悉通威微电子有限公司申请的专利碳化硅腐蚀炉快速冷却系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222801747U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420644859.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型碳化硅腐蚀炉快速冷却系统是由苗家旺;吕芳栋;罗鸿;郝运达设计研发完成，并于2024-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅腐蚀炉快速冷却系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种碳化硅腐蚀炉快速冷却系统，属于晶片加工领域，碳化硅腐蚀炉快速冷却系统包括坩埚和冷却装置，坩埚用于盛装腐蚀液并放入碳化硅晶片进行腐蚀。冷却装置包括冷却源和冷却管路，冷却源的出水口与冷却管路的进水口连通，冷却管路的出水口与冷却源的进水口连通，冷却管路设置于坩埚的外壁。本碳化硅腐蚀炉快速冷却系统工作时，冷却源的冷却水可以从冷却管路的进水口进入冷却管路，并沿冷却管路流动至冷却管路的出水口，冷却水在冷却管路流动的过程中，可以与坩埚进行热交换，从而带走坩埚散发的热量，实现坩埚的快速降温，从而实现腐蚀炉的快速冷却。
本实用新型碳化硅腐蚀炉快速冷却系统在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅腐蚀炉快速冷却系统，其特征在于，包括：坩埚100，所述坩埚100用于盛装腐蚀液并放入碳化硅晶片进行腐蚀；冷却装置200，所述冷却装置200包括冷却源210和冷却管路220，所述冷却源210的出水口与所述冷却管路220的进水口连通，所述冷却管路220的出水口与所述冷却源210的进水口连通，所述冷却管路220设置于所述坩埚100的外壁。
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