安徽格楠机械有限公司赵亮获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽格楠机械有限公司申请的专利一种研磨硅片用清洗结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222791454U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420613364.6,技术领域涉及:B24B7/22;该实用新型一种研磨硅片用清洗结构是由赵亮;曾庆华;曾庆明;万明;镇咸生设计研发完成,并于2024-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种研磨硅片用清洗结构在说明书摘要公布了:本实用新型属于硅片清洗技术领域,公开了一种研磨硅片用清洗结构,包括水箱、驱动结构、清洗结构、承载结构和输水结构,其特征在于:所述的水箱顶部设置有立柱、下固定板,所述的驱动结构设置在立柱上,并在驱动结构上设置有上固定板,所述的清洗结构分别设置在下固定板与下固定板之间及上固定板与上固定板之间,所述的承载结构活动设置在下固定板与上固定板之间的立柱上,所述的输水结构设置在水箱外壁上,并将输水结构向清洗结构上喷水。本实用新型通过输水结构分别向上固定板、下固定板的内腔中注入水流,水流分别从上固定板、下固定板内壁上的喷嘴喷出,对硅片上下两侧表面喷水,进行硅片两侧表面同时清洗,提高硅片的清洗效率。
本实用新型一种研磨硅片用清洗结构在权利要求书中公布了:1.一种研磨硅片用清洗结构,包括水箱、驱动结构、清洗结构、承载结构和输水结构,其特征在于:所述的水箱顶部设置有立柱、下固定板,所述的驱动结构设置在立柱上,并在驱动结构上设置有上固定板,所述的清洗结构分别设置在下固定板与下固定板之间及上固定板与上固定板之间,所述的承载结构活动设置在下固定板与上固定板之间的立柱上,所述的输水结构设置在水箱外壁上,并将输水结构向清洗结构上喷水。
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