江苏新顺微电子股份有限公司蒋亚东获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏新顺微电子股份有限公司申请的专利一种适用于半导体湿法清洗设备的加热载体结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222801746U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420620550.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种适用于半导体湿法清洗设备的加热载体结构是由蒋亚东;周晓;徐林;龚宇科;陈建标;贾云波设计研发完成，并于2024-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于半导体湿法清洗设备的加热载体结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种适用于半导体湿法清洗设备的加热载体结构，属于半导体湿法清洗技术领域。包括内槽体，所述内槽体内腔设置挡板，所述挡板将所述内槽体内腔均分，形成多个独立槽；所述内槽体内腔底面和内槽体两相对布置的内侧面分别设置加热贴膜单元，所述加热贴膜单元对芯片流转时滴落下来的药液进行加热；所述内槽体内侧壁分别设有冷却管，所述冷却管对内槽体进行冷却。所述加热贴膜单元分别包括加热贴膜，所述内槽体外侧面和底部分别设有热电偶和限温器；所述热电偶与温控表电性连接，所述温控表、限温器与加热贴膜的电源线串联电性连接。本申请通过加热贴膜对内槽体进行加热，能够有效地降低了传热损失、减少了保养时间。
本实用新型一种适用于半导体湿法清洗设备的加热载体结构在权利要求书中公布了：1.一种适用于半导体湿法清洗设备的加热载体结构，其特征在于：包括内槽体，所述内槽体内腔设置挡板，所述挡板将所述内槽体内腔均分，形成多个独立槽；所述内槽体内腔底面和内槽体两相对布置的内侧面分别设置加热贴膜单元，所述加热贴膜单元对芯片流转时滴落下来的药液进行加热；所述内槽体内侧壁分别设有冷却管，所述冷却管对内槽体进行冷却。
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