江苏新顺微电子股份有限公司丁飞获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏新顺微电子股份有限公司申请的专利一种改善晶圆装片后左右倒伏的石英舟结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222801763U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420620551.7，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种改善晶圆装片后左右倒伏的石英舟结构是由丁飞;马金磊;朱显设计研发完成，并于2024-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改善晶圆装片后左右倒伏的石英舟结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种改善晶圆装片后左右倒伏的石英舟结构，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括三根石英棒，三根所述石英棒平行布置且沿着弧线布置，所述石英棒之间通过连接筋单元固定连接，形成三棒石英舟；任一石英棒上开设若干沟槽，若干所述沟槽沿着石英棒轴向均布，所述沟槽分别向三棒石英舟舟尾方向倾斜布置，三根所述石英棒的同一位置的沟槽之间构成晶圆置物腔，晶圆斜插于所述晶圆置物腔内。三根所述石英棒形成的弧线中心与晶圆的中心相重合，且两所述边部的石英棒之间的夹角为58°～62°。所述沟槽倾斜角度为3°～5°。本申请结构简单，防止晶圆装载在三棒石英舟上出现左右倒伏现象，保障作业产品片内、片间参数的一致性。
本实用新型一种改善晶圆装片后左右倒伏的石英舟结构在权利要求书中公布了：1.一种改善晶圆装片后左右倒伏的石英舟结构，其特征在于：包括三根石英棒，三根所述石英棒平行布置且沿着弧线布置，中间的所述石英棒两边对称设置另外两石英棒；所述石英棒之间通过多组连接筋单元固定连接，形成三棒石英舟；任一所述石英棒上开设若干沟槽，若干所述沟槽沿着石英棒轴向均布，所述沟槽分别向三棒石英舟舟尾方向倾斜开设，三根所述石英棒的同一位置的沟槽之间构成晶圆置物腔，晶圆斜插于所述晶圆置物腔内；所述晶圆置物腔与晶圆底部相贴合。
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