晶诺微(上海)科技有限公司李宾获国家专利权
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龙图腾网获悉晶诺微(上海)科技有限公司申请的专利一种晶圆吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222801781U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420596715.7，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆吸附装置是由李宾;李艳设计研发完成，并于2024-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆吸附装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆吸附装置，包括承载台和多个环状柔性凸台，承载台具有晶圆承载面的一侧设有多个环状凹槽，多个环状凹槽由内而外依次间隔设置，以在晶圆承载面中划分出多个由内而外依次间隔设置的吸附区；多个环状柔性凸台一一对应的设于多个环状凹槽中。本实用新型中承载台设有环状凹槽，环状凹槽中设有环状柔性凸台，大翘曲度晶圆放置于承载台后，晶圆、环状柔性凸台和晶圆承载面组成密封腔，对密封腔抽气后能够将大翘曲度晶圆牢固地吸附在承载台，提高设备适用性；另外，晶圆承载面上设置凸点，可以将晶背接触减小到2％以内，减少不同工艺对晶圆背部交叉污染；并且，采用分区域分时段逐步吸附，对真空度及气体流速的要求低，降低成本。
本实用新型一种晶圆吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆吸附装置，其特征在于，包括：承载台，所述承载台具有晶圆承载面，所述承载台具有所述晶圆承载面的一侧设置有N个环状凹槽，N个所述环状凹槽由内而外依次间隔设置，以在所述晶圆承载面中划分出N个由内而外依次间隔设置的吸附区，其中，N为大于1的整数，所述承载台在每一所述吸附区均设有真空孔，所述真空孔在垂直方向上贯穿所述承载台；N个环状柔性凸台，一一对应设置于N个所述环状凹槽中，所述环状柔性凸台的顶端在垂直方向上高于所述晶圆承载面；多个凸点，设置于所述晶圆承载面上，所述凸点分布于各个所述吸附区，所述凸点的顶端低于所述环状柔性凸台的顶端，其中，进行晶圆吸附时，晶圆和所述凸点接触，将晶背接触减小到2％以内。
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