恭喜湖南德智新材料股份有限公司廖家豪获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜湖南德智新材料股份有限公司申请的专利一种清洁方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117737695B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311764326.7，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权一种清洁方法是由廖家豪;窦坤鹏;柴攀;万强设计研发完成，并于2023-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洁方法在说明书摘要公布了：本发明涉及碳化硅清洁领域，提供了一种清洁方法，该方法包括使用清洁气体清洁位于基材表面的含碳化硅的堆积物；所述基材包括位于基底表面的热解碳涂层；所述热解碳涂层由聚酰亚胺和纳米微晶纤维素热解得到；所述清洁气体为三氟化氯。通过该方法能够使得碳化硅薄膜或颗粒从热解碳表面脱落，实现CVD反应器的清洁，同时，能够减少三氟化氯对反应器和基底的腐蚀，提高反应器的使用寿命。
本发明授权一种清洁方法在权利要求书中公布了：1.一种清洁方法，其特征在于，该方法包括：使用清洁气体清洁位于基材表面的含碳化硅的堆积物；所述基材包括位于基底表面的热解碳涂层；所述热解碳涂层由聚酰亚胺和纳米微晶纤维素热解得到，其中，所述聚酰亚胺为BTDA-TDIMDI共聚聚酰亚胺，所述聚酰亚胺与所述纳米微晶纤维素的重量比为1:0.5-2；所述清洁气体为三氟化氯。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湖南德智新材料股份有限公司，其通讯地址为：412000 湖南省株洲市天元区金马路156号湖南德智半导体产业园1号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号