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龙图腾网恭喜兰州空间技术物理研究所申请的专利一种用于液体的真空蒸发源结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115852312B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211521728.X，技术领域涉及：C23C14/12；该发明授权一种用于液体的真空蒸发源结构是由董茂进;冯煜东;王小军;秦丽丽;王冠;冯尔鹏;蔡宇宏;韩仙虎;王毅;马凤英设计研发完成，并于2022-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于液体的真空蒸发源结构在说明书摘要公布了：本发明涉及一种真空蒸发源结构，具体涉及一种用于液体的真空蒸发源结构。本发明公开了一种用于液体的真空蒸发源结构。对于饱和蒸汽压较低小于10Pa的液态单体，粘度1‑30CPS25℃。蒸发源设计有以下特点：1、能够连续供给，液体管和连续液体流量计设计；2、流量控制准确，液体流量计前后压强稳定；3、不会由于气泡等干扰恒定蒸发，雾化器前端具有除泡机构。

本发明授权一种用于液体的真空蒸发源结构在权利要求书中公布了：1.一种用于液体的真空蒸发源结构，其特征在于：该真空蒸发源结构包括通气调压单体罐A、液体流量计、雾化器、通气调压单体罐B、加热器和真空室；所述的通气调压单体罐A用于调节液态单体的压力；所述的通气调压单体罐B用于调节雾化器内雾化后气体的压力；通过通气调压单体罐A调节了压力后的液体单体通过液体流量计控制流量后，液体单体进入到雾化器中进行雾化形成液滴，雾化后的液滴通过加热器进行加热气化后进入到真空室；进入到真空室的气体作为闪蒸技术沉积液体单体膜的液体源；所述的液态单体为三丙二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯或二乙二醇二丙烯酸酯；通过通气调压单体罐A内通过通入氮气调节液体单体压力，使液体单体的压力范围为0.1MPa-0.3MPa；液体流量计控制流量的范围为0.1-10mLmin；通气调压单体罐B内通过通入氮气调节雾化器内雾化后气体的压力，使雾化后气体的压力范围为10～100Pa；此处通过通气量控制压强稳定；加热器加热的温度范围为110～200℃；所述的雾化器前端设计有除泡机构，同时辅助机械振动。

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