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龙图腾网恭喜苏州贝爱特自动化科技有限公司申请的专利一种晶圆固化水冷平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115615074B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211366538.5，技术领域涉及：F25D1/00；该发明授权一种晶圆固化水冷平台是由郑棉胜设计研发完成，并于2022-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆固化水冷平台在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆固化水冷平台，包括载台和顶升机构，载台设置于固定架上，顶升机构固定于载台的下部，用于顶升放置在载台上的晶圆；载台包括水冷腔体，水冷腔体的底部通过密封板密封连接，其侧边分别设置有进水管和出水管；水冷腔体的正面中心位置设置有晶圆放置区，晶圆放置区上间隔均匀的设置有若干同心的圆形沟槽，且晶圆放置区上垂直设置有两条直线沟槽，两条直线沟槽经圆心相互垂直，位于晶圆放置区的中间位置设置有供顶升机构爪手伸出的孔；水冷腔体的内部中空，通过进水管注水，出水管排水，且所述水冷腔体内部为循环水，通过内部循环水来对载台的晶圆进行水冷或者加热。该装置可以有效控制晶圆固化的温度。

本发明授权一种晶圆固化水冷平台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆固化水冷平台，其特征在于，包括载台（1）和顶升机构（2），所述载台（1）设置于固定架（3）上，顶升机构（2）固定于载台（1）的下部，用于顶升放置在载台（1）上的晶圆（4）；所述载台（1）包括水冷腔体（5），水冷腔体（5）的底部通过密封板（6）密封连接，其侧边分别设置有进水管（7）和出水管（8）；所述水冷腔体（5）的正面中心位置设置有晶圆放置区（9），晶圆放置区（9）上间隔均匀的设置有若干同心的圆形沟槽（10），且晶圆放置区（9）上垂直设置有两条直线沟槽（11），两条直线沟槽（11）经圆心相互垂直，位于晶圆放置区（9）的中间位置设置有供顶升机构（2）爪手伸出的孔（12）；所述水冷腔体（5）的内部中空，通过进水管（7）注水，出水管（8）排水，且水冷腔体（5）内部为循环水，通过内部循环水来对载台（1）的晶圆（4）进行水冷或者加热；所述载台（1）的背面设置有注水区（17），注水区（17）内一体脱模设置有若干鳍状凸条部（18）、中间分隔部（19）以及容纳部（20），所述中间分隔部（19）将注水区（17）分为两个水循环区域，且顶升机构（2）贯穿中间分隔部（19），偏移检测真空孔（13）和晶圆吸附真空孔（14）分别贯穿设置于鳍状凸条部（18）和容纳部（20）上；所述鳍状凸条部（18）、中间分隔部（19）以及容纳部（20）的凸出高度与载台（1）的表面高度一致，所述密封板（6）与载台（1）背面密封连接后形成水冷腔体（5）。

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