恭喜无锡学院黄瑞获国家专利权
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龙图腾网恭喜无锡学院申请的专利一种激光泵浦铌酸锂波导光子集成器件及其制备与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115588899B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211336257.5,技术领域涉及:H01S5/40;该发明授权一种激光泵浦铌酸锂波导光子集成器件及其制备与应用是由黄瑞;王青;赵东;于庆南;张黎可;李晓东;胡长雨;曹燚;任乐;李睿设计研发完成,并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光泵浦铌酸锂波导光子集成器件及其制备与应用在说明书摘要公布了:本发明属于光子集成与光波导技术领域,具体涉及一种激光泵浦铌酸锂波导光子集成器件及其制备与应用。本发明制备得到的光子集成器件中的边发射激光器泵浦LNOI光波导激光器中的铌酸锂波导能自发振荡激光输出,在铌酸锂波导两端刻蚀光栅形成谐振腔,能诱导光学波导内的稀土离子实现能级跃迁,输出对应波长的激光,从而达到耦合效率高的优点,且制备工艺简单,适合大规模生产。
本发明授权一种激光泵浦铌酸锂波导光子集成器件及其制备与应用在权利要求书中公布了:1.一种激光泵浦铌酸锂波导光子集成器件,其特征在于,由p型衬底4、边发射激光器22、LNOI光波导激光器21、p面电极20和n面电极19组成,其中,p型衬底4上方从左到右依次溅射p面电极20、键合边发射激光器22和LNOI光波导激光器21,n面电极19溅射在边发射激光器22表面;所述LNOI光波导激光器21从上到下依次为光刻胶、铌酸锂衬底1和SiO2层2,在铌酸锂衬底1内注入一层离子注入损伤层3,条形波导结构图案25通过光刻胶刻蚀在铌酸锂衬底1表面,所述条形波导结构图案25中含有铌酸锂波导7,后向光栅10和前向光栅11透过条形波导结构图案25两端刻蚀在铌酸锂衬底1内,在铌酸锂衬底1中注入稀土离子使稀土离子分散在铌酸锂衬底1中,并在左侧设有端面24;所述边发射激光器22在右侧设有出光口23,出光口23对着LNOI光波导激光器21中的端面24,使边发射激光器22出射的激光泵浦稀土离子能级跃迁发出的光子在前向光栅11和后向光栅10内发射。
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