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龙图腾网获悉西南大学申请的专利一种基于衬底集成波导重入式谐振腔和六端口干涉网络的湿度传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115541669B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211211019.1，技术领域涉及：G01N27/22；该发明授权一种基于衬底集成波导重入式谐振腔和六端口干涉网络的湿度传感器是由黄杰;刘兴川设计研发完成，并于2022-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于衬底集成波导重入式谐振腔和六端口干涉网络的湿度传感器在说明书摘要公布了：一种基于衬底集成波导和六端口干涉网路的湿度传感器，包括无源谐振腔和六端口干涉电路。无源谐振腔由纵向叠加的三层介质基板构成，顶层的无金属化通孔、中间层的空气填充型介质以及底层的电容柱金属化通孔所形成的紧凑结构使得湿空气在谐振腔内的流通性大大增强，从而使湿空气中的水分子能更充分地附着于谐振腔内并与凹槽中的湿敏材料发生充分的反应。介质基板的底层金属设计有共面波导馈电结构，连接外部六端口干涉电路。六端口干涉电路由功分器、耦合器、移相器、谐振腔构成。信号从功分器馈入，等功率等相位分配给参考和传感两条支路，通过加载谐振腔带来的不同相位信息，通过调节移相器，使两条线路形成干涉，从而实现高灵敏度的湿度传感测量。

本发明授权一种基于衬底集成波导重入式谐振腔和六端口干涉网络的湿度传感器在权利要求书中公布了：1.一种基于衬底集成波导和六端口干涉网络的湿度传感器，其特征在于，包括无源谐振腔体和六端口干涉电路；所述无源谐振腔体设置结构相同的两个，分别作为传感腔体和参考腔体；所述无源谐振腔体具有三层介质基板，每层介质基板均包括顶层金属、介质层和底层金属，在三层介质基板中形成衬底集成波导重入式谐振腔；在每层介质基板中都分布有一圈金属化通孔，每一层的金属化通孔都与该层的顶层金属和底层金属相连，每一层的金属化通孔围成的圈的半径相同、圆心对齐，由此形成所述谐振腔的等效金属壁，等效金属壁以内为谐振腔区域；在所述无源谐振腔体的谐振腔区域内，底层介质基板的中心有按圆形布置的金属化通孔阵列，该金属化通孔阵列底部和顶部分别与底层介质基板的底层金属和顶层金属相连，且顶层金属在谐振腔区域内被部分刻蚀掉，只留下中心的比金属化通孔阵列半径稍大的一块圆形金属层，由此形成所述参考腔体的电容柱；在所述无源谐振腔体的谐振腔区域内，中间层介质基板被完全挖空，作为空气填充区域；在所述无源谐振腔体的谐振腔区域内，顶层介质基板的底层金属被全部刻蚀掉；在顶层介质基板中心区域有从下向上挖有一个圆形凹槽，用于形成传感区域；顶层介质基板的介质层中并围绕所述圆形凹槽外，设置有按圆形布置的未金属化通孔阵列，所述未金属化通孔阵列与该基板顶层金属共同形成金属格栅；所述无源谐振腔体通过顶层介质基板的金属格栅、中间层介质基板的空气填充区域、底层介质基板的电容柱使得湿空气能自由进出谐振腔区域，增强其流通性；所述无源谐振腔体在底层介质基板的底层金属蚀刻有共面波导馈电线，且与馈电线相连的微带线采用渐变的形式，用于连接外部六端口干涉电路；所述六端口干涉电路包括两个功分器、两个耦合器及一个移相器，其中两个功分器的一路通过一个耦合器连接参考腔体，构成参考电路，在参考电路中设置移相器；两个功分器的另一路通过另一个耦合器连接传感腔体，构成传感电路；所述六端口干涉电路在功分器的一端通过共面波导馈电线馈入信号。

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