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龙图腾网恭喜北京理工大学申请的专利一种真空目标靶溅射沉积质量的三维检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115436214B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211082822.X，技术领域涉及：G01N5/00；该发明授权一种真空目标靶溅射沉积质量的三维检测设备是由何梓豪;苗龙;王一凡;张琳;梁福文设计研发完成，并于2022-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空目标靶溅射沉积质量的三维检测设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种真空目标靶溅射沉积质量的三维检测设备，包括：检测装置，包括支座组件、石英晶体微量天平组件；支座组件上安装有第一驱动机构，第一驱动机构用于驱动石英晶体微量天平组件转动；石英晶体微量天平组件转动连接在支座组件上；靶材调节装置，包括转盘机构、倾覆机构、靶材安装板；倾覆机构安装在转盘机构上，靶材安装板转动连接在倾覆机构上，转盘机构用于驱动靶材安装板水平转动，倾覆机构用于调整靶材安装板的倾斜角度。本发明可实现离子不同轰击入射角的三维溅射区域检测，加工简单、运行可靠、数据采集稳定，通过三维空间的溅射量的采集，可描绘溅射沉积现象的三维整体特征。

本发明授权一种真空目标靶溅射沉积质量的三维检测设备在权利要求书中公布了：1.一种真空目标靶溅射沉积质量的三维检测设备，其特征在于，包括：检测装置，包括支座组件、石英晶体微量天平组件；所述支座组件上安装有第一驱动机构，所述第一驱动机构用于驱动所述石英晶体微量天平组件转动；所述石英晶体微量天平组件转动连接在所述支座组件上；靶材调节装置，包括转盘机构、倾覆机构、靶材安装板1；所述倾覆机构安装在所述转盘机构上，所述靶材安装板1转动连接在所述倾覆机构上，所述转盘机构用于驱动所述靶材安装板1水平转动，所述倾覆机构用于调整所述靶材安装板1的倾斜角度；其中，所述石英晶体微量天平组件的输出端朝向所述靶材安装板1；所述石英晶体微量天平组件包括转动连接在所述支座组件上的安装杆2，所述安装杆2上安装有石英晶体微量天平3；所述支座组件和所述转盘机构均安装在底座4上；所述支座组件包括：支撑盖5，固接在所述底座4上，顶端开设有第一滑槽6，所述第一滑槽6内滑动连接有第一齿条7，所述第一齿条7与所述第一驱动机构驱动连接；第一支撑座8，固接在所述支撑盖5的顶部；第一阶梯轴9和第二阶梯轴10，均转动连接在所述第一支撑座8上；所述第一阶梯轴9位于所述第二阶梯轴10的上方；所述第一阶梯轴9与所述第二阶梯轴10带传动；安装凸台11，固接在位于所述第一阶梯轴9的一端，所述安装凸台11通过固定件与所述安装杆2可拆卸连接；第一齿轮12，固接在所述第二阶梯轴10上，并且与所述第一齿条7啮合传动；所述转盘机构包括：底座筒13，转动连接在所述底座4上，所述底座筒13的外壁上周向固接有第二齿轮14；转盘15，固接在所述底座筒13顶部；滑板16，滑动连接在所述底座4上，所述滑板16上固接有与所述第二齿轮14啮合传动的第二齿条17；第二驱动机构，安装在所述底座4上，并且与所述滑板16驱动连接；所述倾覆机构包括：底板18，通过若干支撑杆19安装在所述转盘15上，所述底板18上开设有第三滑槽20，所述第三滑槽20内滑动连接有第三齿条21；第二支撑座22，固接在所述底板18上；所述靶材安装板1转动连接在所述第二支撑座22上；第三阶梯轴23，转动连接在所述第二支撑座22上，所述第三阶梯轴23的外壁上周向固接有第三齿轮33，所述第三齿轮33与所述第三齿条21啮合传动；所述第三阶梯轴23和所述靶材安装板1带传动；第三驱动机构，安装在所述底板18上，并且与所述第三齿条21驱动连接；所述第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构结构相同；所述第一驱动机构包括电动推杆24和连杆25；所述连杆25的一端与所述电动推杆24的输出端固接；所述第一驱动机构和所述第二驱动机构的电动推杆24均安装在底座4上，所述第三驱动机构的电动推杆24安装在所述底板18上；三个所述连杆25远离所述电动推杆24的一端分别与所述第一齿条7、滑板16、第三齿条21固接。

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