恭喜陈希;栾海涛;张启明;顾敏获国家专利权
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龙图腾网恭喜陈希;栾海涛;张启明;顾敏申请的专利一种超越衍射极限的石墨烯结构及双光束光刻方法与应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115390366B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210992808.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种超越衍射极限的石墨烯结构及双光束光刻方法与应用是由陈希;栾海涛;张启明;顾敏设计研发完成，并于2022-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超越衍射极限的石墨烯结构及双光束光刻方法与应用在说明书摘要公布了：本发明涉及石墨烯的超精细光刻技术领域，特别涉及一种超越衍射极限的石墨烯结构及其双光束光刻方法，包括：采用石墨粉通过Hummers方法获得氧化石墨烯悬浮液，接着将所述氧化石墨烯悬浮液旋涂在PET薄膜上，制备得到氧化石墨烯薄膜；采用环形还原光束和球面氧化光束的双光束激光光刻系统对所述氧化石墨烯薄膜进行光刻。本发明采用环形还原光束和球面氧化光束同时对氧化石墨烯薄膜进行光刻，可以制造出超越衍射极限的精细化平行线型图案，实现最小线宽为90nm的LSG图案，通过控制双光束的激光功率和扫速可以制造出不同平均线宽和平均间距的LSG平行图案，该图案可以用于制作超级电容的电极，其比容量最高可以达到308Fg。
本发明授权一种超越衍射极限的石墨烯结构及双光束光刻方法与应用在权利要求书中公布了：1.一种超越衍射极限的石墨烯结构的双光束光刻方法，其特征在于，包括：氧化石墨烯薄膜的制备：采用石墨粉通过Hummers方法获得氧化石墨烯悬浮液，接着将所述氧化石墨烯悬浮液旋涂在PET薄膜上，制备得到氧化石墨烯薄膜；双光束激光光刻：采用环形还原光束和球面氧化光束的双光束激光光刻系统对所述氧化石墨烯薄膜进行光刻。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人陈希;栾海涛;张启明;顾敏，其通讯地址为：200082 上海市杨浦区翔殷路999号21幢3层309室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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