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龙图腾网恭喜东南大学申请的专利一种基于静电反馈结构的三轴光栅加速度计装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115356506B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210956922.4，技术领域涉及：G01P15/093；该发明授权一种基于静电反馈结构的三轴光栅加速度计装置是由杨波;聂逸菲;李成;孙震宇设计研发完成，并于2022-08-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于静电反馈结构的三轴光栅加速度计装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于静电反馈结构的三轴光栅加速度计装置，所述加速度计采用玻璃‑硅‑玻璃的三明治结构，顶层为带有金属光栅的玻璃层，中层为硅层主体结构，底层为镀有金属电极的玻璃层。中层主体结构将X、Y、Z三个方向的敏感结构紧凑布置于同一块硅结构上，三个子模块分别独立实现三轴加速度测量，串扰极低，形成一个三轴硅微敏感结构，再通过静电反馈结构实现对质量块的控制，使得质量块总是处于平衡位置。该装置具有良好的输出线性度和高机械灵敏度。本发明实现了单片集成微加速度计器件，减小了器件尺寸以及整体封装难度，用于加速度的测量。

本发明授权一种基于静电反馈结构的三轴光栅加速度计装置在权利要求书中公布了：1.一种基于静电反馈结构的三轴光栅加速度计装置，其特征在于：包括顶层结构（24）、中层主体结构（1）和底层结构（29），而顶层结构（24）、中层主体结构（1）和底层结构（29），从上到下布置形成一个完整的三轴光栅加速度计结构;其中中层主体结构（1）包括X轴模块（1-1）、Y轴模块（1-2）、Z轴模块（1-3）、键合模块（1-4）和第一键合层结构（23）；X轴模块（1-1）位于中层主体结构（1）的左上角，Y轴模块（1-2）位于中层主体结构（1）的右下角，X轴模块（1-1）与Y轴模块（1-2）垂直布置，Z轴模块（1-3）位于中层主体结构（1）的左下角，键合模块（1-4）位于中层主体结构（1）的右上角，第一键合层结构（23）的键合电极分布于各个模块的四角处；中层主体结构（1）为正方形，X轴模块（1-1）与Y轴模块（1-2）构造完全一致，均为长方形，Z轴模块（1-3）、键合模块（1-4）为正方形，X轴模块（1-1）的下长边与Z轴模块（1-3）的上边长重合，Y轴模块（1-2）的左长边与Z轴模块（1-3）的右边长重合，键合模块（1-4）的左边长与X轴模块（1-1）的右短边重合，下边长与Y轴模块（1-2）的上短边重合，第一键合层结构（23）的下表面与X轴模块（1-1）、Y轴模块（1-2）、Z轴模块（1-3）、键合模块（1-4）的上表面重合；X轴模块（1-1）用于测量X轴方向的加速度，Y轴模块（1-2）用于测量Y轴方向的加速度，Z轴模块（1-3）用于测量Z轴方向的加速度，第一键合层结构（23）用于与顶层结构（24）键合;X轴模块（1-1）由X轴环形外框（2）、第一、二X轴环形外层弹性梁（3-1、3-2）、X轴环形连接框架（4）、第一、二X轴环形内层弹性梁（5-1、5-2）、X轴梳齿结构、X轴可动光栅质量块（7）、第一、二X轴固定光栅质量块构成；第一、二X轴固定光栅质量块（8-1、8-2）位于X轴可动光栅质量块（7）的内部的中心位置，并关于X轴模块（1-1）中心左右对称分布，第一、二X轴固定光栅质量块（8-1、8-2）的上表面刻出大量平行等距凹槽形成光栅部分；X轴可动光栅质量块（7）位于X轴模块（1-1）的正中心，等距分成五个部分，第二、四部分挖空，第一、三、五部分保留连接，X轴可动光栅质量块（7）的上表面同样刻出大量平行等距凹槽形成光栅部分；X轴梳齿结构位于X轴可动光栅质量块（7）的左右两侧，X轴梳齿结构由X轴可动光栅质量块（7）左方第一、二、三X轴反馈梳齿（6-1、6-2、6-3），X轴可动光栅质量块（7）右方第四、五、六X轴反馈梳齿（6-4、6-5、6-6）组成，左右两侧的反馈梳齿等间距分布，反馈梳齿由一对固定梳齿和一个可动梳齿构成，固定梳齿分别对称分布于可动梳齿的上下两侧，并在梳齿间形成一定的重叠长度且相邻梳齿的间距相等，上侧为驱动梳齿，下侧为感应梳齿，可动梳齿与X轴可动光栅质量块（7）相连，反映X轴可动光栅质量块（7）的位移；X轴可动光栅质量块（7）通过上方第一X轴环形内层弹性梁（5-1）和下方第二X轴环形内层弹性梁（5-2）支撑于X轴环形连接框架（4）之上，X轴环形连接框架（4）内部结构作为整体，再通过上方第一X轴环形外层弹性梁（3-1）和下方第二X轴环形外层弹性梁（3-2）支撑于X轴环形外框（2）之上，其中第一、二X轴环形外层弹性梁（3-1、3-2）略长于第一、二X轴环形内层弹性梁（5-1、5-2）；当经过准直后的激光光束透过顶部玻璃近似照射到光栅上时，一部分光被直接反射，并形成衍射光束1，另一部分入射光通过光栅的间隙后被反射回来，再次经过光栅后形成衍射光束2;两个衍射光束会发生干涉，产生干涉光斑，当外界有X轴加速度输入时，X轴可动光栅质量块（7）会受到惯性力的作用产生位移，而第一、二X轴固定光栅质量块（8-1、8-2）不发生改变，从而影响光斑强度的改变；同时通过X轴静电反馈梳齿结构实现对X轴可动光栅质量块（7）的控制，使得X轴可动光栅质量块（7）始终处于平衡位置，最后实现对X轴加速度的闭环测量；顶层结构（24）由顶层玻璃基片（25）、金属光栅（26）、顶层金属电极（27）和第二键合层结构（28）构成，底层结构（29）由底层玻璃基片（30）、锚点层、第一、二X轴固定光栅质量块锚点（32-1、32-2）、第一、二Y轴固定光栅质量块锚点（33-1、33-2）、底层金属电极、X轴驱动电极、X轴感应电极、Y轴驱动电极、Y轴感应电极、外围电极（39）构成。

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