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龙图腾网恭喜哈尔滨工业大学申请的专利器件辐照缺陷演化分子动力学仿真的注量模拟方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115146559B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210762679.2，技术领域涉及：G06F30/28；该发明授权器件辐照缺陷演化分子动力学仿真的注量模拟方法及系统是由李兴冀;杨剑群;荆宇航;徐晓东;吕钢设计研发完成，并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本器件辐照缺陷演化分子动力学仿真的注量模拟方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种器件辐照缺陷演化分子动力学仿真的注量模拟方法及系统，属于模拟仿真技术领域。所述方法包括：获取收敛的单个入射粒子辐照器件产生PKA的数量；对器件进行网格化处理，得到多个含有PKA的网格；构建与网格等大小的体系模型；标定注量的入射粒子分批次辐照器件，基于体系模型，利用分子动力学方法和KMC方法对网格中的PKA进行缺陷演化；统计每个网格中缺陷的种类和数量并归入器件中，改变入射粒子的注量，重复上述步骤，获得不同注量入射粒子与器件中缺陷信息之间的关系。本发明结合分子动力学和动力学蒙特卡罗方法，实现在不同注量下整个半导体器件的缺陷演化过程的模拟计算，且计算逻辑清晰，步骤简单易操作。

本发明授权器件辐照缺陷演化分子动力学仿真的注量模拟方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种器件辐照缺陷演化分子动力学仿真的注量模拟方法，其特征在于，包括：步骤一，获取收敛的单个入射粒子辐照器件产生的PKA数量；步骤二，对所述器件进行网格化处理，得到多个含有PKA的网格，统计所述网格中的PKA信息；步骤三，构建与所述网格等大小的体系模型；步骤四，标定注量的所述入射粒子按照设定的固定注量率分批次辐照所述器件，根据所述收敛的单个入射粒子辐照器件产生的PKA数量、所述网格中的PKA信息、所述网格的面积、所述标定注量和所述固定注量率，获取所述网格中每批次的所述入射粒子产生的PKA数量以及标定注量的所述入射粒子产生的PKA总量，并基于所述体系模型，利用分子动力学方法和KineticMonteCarlo方法对所述网格中的PKA进行缺陷演化；步骤五，统计所述缺陷演化后每个所述网格中的缺陷种类和数量并归入所述器件中，获得标定注量所述入射粒子条件下所述器件中的缺陷信息；步骤六，改变所述入射粒子的注量，重复所述步骤四和所述步骤五，得到不同注量的所述入射粒子与所述器件的缺陷信息之间的关系。

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