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龙图腾网恭喜杭州富芯半导体有限公司申请的专利垂直离子束角度实时测量系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115132574B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210729841.0，技术领域涉及：H01L21/265；该发明授权垂直离子束角度实时测量系统和方法是由苏文华;曹炜;吴炎森设计研发完成，并于2022-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本垂直离子束角度实时测量系统和方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种垂直离子束角度实时测量系统和方法,用于半导体制造工艺的离子注入工序，其包括：离子电流传感装置、驱动装置和基准位置传感器。离子电流传感装置接收来自离子注入机的离子束，且产生离子电流值信号。驱动装置与离子电流传感装置连接，使离子电流传感装置在预定的取样角度范围内绕旋转轴线转动。基准位置传感器设定离子电流传感装置的基准位置，当离子电流传感装置转动至基准位置时，触发基准位置传感器产生基准位置信号。其中在离子注入工序进行的过程中，离子电流传感装置以基准位置为中心在取样角度范围内连续顺时针转动和逆时针转动以形成取样周期，在取样周期中，以离子电流值信号的最大值实时决定离子束的垂直离子束角度。

本发明授权垂直离子束角度实时测量系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种垂直离子束角度实时测量系统，用于半导体制造工艺的离子注入工序，其特征在于，包括：离子电流传感装置10，接收来自离子注入机的离子束，且产生离子电流值信号；驱动装置20，与所述离子电流传感装置10连接，使所述离子电流传感装置10在预定的取样角度范围内绕旋转轴线转动；所述离子电流传感装置（10）连续地从-30°转动至+30°，然后从+30°转动至-30°，形成一个取样周期，所述驱动装置20包括步进电机21和编码器22，所述步进电机21与所述离子电流传感装置10连接而且使所述离子电流传感装置10在所述取样角度范围内转动，所述编码器22测量所述步进电机21的转动角度，且产生角度值信号；基准位置传感器30，设定所述离子电流传感装置10的基准位置，当所述离子电流传感装置10转动至所述基准位置时，触发所述基准位置传感器30产生基准位置信号；以及离子剂量控制装置60，其中所述离子电流值信号、所述基准位置信号和所述角度值信号被传送至所述离子剂量控制装置60；在所述离子注入工序进行的过程中，所述离子电流传感装置10实时地决定所述离子束的垂直离子束角度；所述离子剂量控制装置60计算所述离子束的所述垂直离子束角度，且将计算出的所述垂直离子束角度与所述离子注入机的垂直离子束角度设定值做比较，以决定是否中止所述离子注入工序；在所述离子注入工序进行的过程中，所述离子电流传感装置10以所述基准位置为中心在所述取样角度范围内连续顺时针转动和逆时针转动以形成所述取样周期，在所述取样周期中，以所述离子电流值信号的最大值实时地决定所述离子束的所述垂直离子束角度；所述离子剂量控制装置60包括数字模拟转换单元61、剂量控制单元62和计算单元63，所述数字模拟转换单元61将所述离子电流值信号、所述基准位置信号和所述角度值信号从模拟信号转换成数字信号，所述剂量控制单元62将数字化的所述离子电流值信号、所述基准位置信号和所述角度值信号传送至所述计算单元63，所述计算单元63根据所述离子电流值信号、所述基准位置信号和所述角度值信号计算出所述离子束的所述垂直离子束角度，而且与所述离子注入机的所述垂直离子束角度设定值做比较。

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