恭喜上海华力集成电路制造有限公司刘晓明获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海华力集成电路制造有限公司申请的专利eFuse的测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115166477B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210714723.2,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权eFuse的测试方法是由刘晓明设计研发完成,并于2022-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本eFuse的测试方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种eFuse的测试方法,包括:步骤一、提供由eFuse的测试结构组成待测器件,包括相串联的eFuse和编程晶体管。步骤二、测量eFuse的电阻初始值以及编程晶体管导通时的第二输出阻抗并相加形成待测器件实际电阻。步骤三、提供具有自带电阻的脉冲发生器,根据自带电阻、待测器件实际电阻和待测器件目标电压计算脉冲发生器的脉冲电压设置值。步骤四、进行状态改写,包括:使编程晶体管导通。脉冲发生器根据脉冲电压设置值输出第一脉冲信号到待测器件实现对eFuse的状态改写,第一脉冲信号的峰值电压值等于脉冲电压设置值。步骤五、测量eFuse的的电阻后值。本发明能防止测试过程中对eFuse进行状态改写时出现熔断不足或过熔断的情形,从而能提高测量精度。
本发明授权eFuse的测试方法在权利要求书中公布了:1.一种eFuse的测试方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一、提供待测器件,所述待测器件由eFuse的测试结构组成,所述eFuse的测试结构包括相串联的eFuse和编程晶体管;步骤二、测量所述eFuse的电阻初始值以及所述编程晶体管导通时的第二输出阻抗;由所述电阻初始值和所述第二输出阻抗相加形成待测器件实际电阻;步骤三、提供脉冲发生器,所述脉冲发生器和所述待测器件相串联自带电阻,根据所述自带电阻、所述待测器件实际电阻和待测器件目标电压计算所述脉冲发生器的脉冲电压设置值;步骤四、对所述待测器件的所述eFuse进行状态改写,包括:使所述编程晶体管导通;所述脉冲发生器根据所述脉冲电压设置值输出第一脉冲信号到所述待测器件实现对所述eFuse的状态改写,所述第一脉冲信号的峰值电压值等于所述脉冲电压设置值,使所述第一脉冲信号加到所述待测器件上的实际电压和所述待测器件目标电压相符,以提升所述状态改写精度;步骤五、测量所述eFuse的电阻后值,通过所述电阻后值判断步骤四的所述状态改变是否彻底。
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