恭喜日本碍子株式会社竹林央史获国家专利权
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龙图腾网恭喜日本碍子株式会社申请的专利晶片载放台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115995374B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210702212.9,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权晶片载放台是由竹林央史;久野达也;井上靖也设计研发完成,并于2022-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片载放台在说明书摘要公布了:本发明提供一种晶片载放台,减少了其对晶片的均热性的影响。晶片载放台10具备:陶瓷基材20、冷却基材30、接合层40、附带有台阶的孔81、附带有台阶的绝缘管84、以及供电端子82。附带有台阶的孔81具有细径的孔上部81a、粗径的孔下部81b及孔台阶部81c,孔上部81a从冷媒流路31的形成区域37通过。附带有台阶的绝缘管84插入于附带有台阶的孔81,且具有细径的管上部84a、粗径的管下部84b及管台阶部84c。供电端子82的上端与电极27接合。
本发明授权晶片载放台在权利要求书中公布了:1.一种晶片载放台,其中,具备:陶瓷基材,该陶瓷基材在上表面具有晶片载放面,且内置有电极;冷却基材,该冷却基材在内部形成有冷媒流路;接合层,该接合层将所述陶瓷基材的下表面和所述冷却基材的上表面接合;附带有台阶的孔,该孔沿着上下方向贯穿所述接合层及所述冷却基材,且具有细径的孔上部、粗径的孔下部及在所述孔上部与所述孔下部之间的孔台阶部,所述孔上部从所述冷媒流路的形成区域通过;附带有台阶的绝缘管,该绝缘管插入于所述附带有台阶的孔,且具有细径的管上部、粗径的管下部及在所述管上部与所述管下部之间的管台阶部;接合端子,该接合端子插入于所述附带有台阶的绝缘管,且上端与所述电极接合;以及插座,该插座配置于所述附带有台阶的绝缘管的所述管下部内,且具有不与所述接合端子的下端面抵接地对所述接合端子的外周面进行弹性支撑的弹性支撑部,所述弹性支撑部具有:沿着圆周方向空开间隔地竖立设置的多个板部件、以及自外侧将所述多个板部件紧固的弹性部件。
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