恭喜山东大学陶继方获国家专利权
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龙图腾网恭喜山东大学申请的专利一种基于微环谐振器的露点检测传感器、检测系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115096941B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210682902.2,技术领域涉及:G01N25/66;该发明授权一种基于微环谐振器的露点检测传感器、检测系统及方法是由陶继方;张凯峰设计研发完成,并于2022-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于微环谐振器的露点检测传感器、检测系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于微环谐振器的露点检测传感器、检测系统及方法,露点检测传感器包括半导体制冷器和置于其上的微环谐振器传感芯片,所述微环谐振器传感芯片包括硅基底和位于硅基底上的二氧化硅层,所述二氧化硅层内埋有波导层,所述波导层包括光栅耦合器和微环谐振器,光纤中的光经光栅耦合器耦合进微环谐振器,再从光栅耦合器输出;所述微环谐振器上方区域的二氧化硅层厚度小于其他区域的二氧化硅层厚度。本发明利用一个微环谐振器对露点进行检测,微环谐振器既作为检测水珠凝结的传感器,也作为记录温度的传感器,实现对凝水温度的快速精确测量。
本发明授权一种基于微环谐振器的露点检测传感器、检测系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于微环谐振器的露点检测传感器,其特征在于,包括半导体制冷器和置于其上的微环谐振器传感芯片,所述微环谐振器传感芯片包括硅基底和位于硅基底上的二氧化硅层,所述二氧化硅层内埋有波导层,所述波导层包括光栅耦合器和微环谐振器,光纤中的光经光栅耦合器耦合进微环谐振器,再从光栅耦合器输出;所述微环谐振器上方区域的二氧化硅层厚度小于其他区域的二氧化硅层厚度;所述微环谐振器的输入端通过传输波导连接光栅耦合器,下载端使用环形波导作为全带反射器;或者所述微环谐振器的输入端和下载端通过Y型分束器连接。
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