长沙麓邦光电科技有限公司程文治获国家专利权
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龙图腾网获悉长沙麓邦光电科技有限公司申请的专利基于多纵模激光测量直线位移台定位精度的系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114935307B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210426302.X,技术领域涉及:G01B9/02055;该发明授权基于多纵模激光测量直线位移台定位精度的系统及方法是由程文治;陈澄;李晓春设计研发完成,并于2022-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于多纵模激光测量直线位移台定位精度的系统及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光学检测技术领域,公开一种基于多纵模激光测量直线位移台定位精度的系统及方法,以实现对位移台定位精度进行高精度检测。本发明通过所采集位移台在运动过程中系列散斑图片与散斑对比度周期的对应关系计算运动初始状态与最终状态之间的光程差,由于该光程差与位移台的直线位移成2倍关系,因此可以将该位移台实际的直线位移值精确到微米级,再将该实际位移值与位移台自身得出的行程做比较可以计算得出位移台的直线定位精度,且整个操作简单便捷。
本发明授权基于多纵模激光测量直线位移台定位精度的系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于多纵模激光测量直线位移台定位精度的系统,其特征在于,包括:光源为多纵模激光的干涉发生装置,在发生干涉的一束光波中,设置有改变光程的位移台,所述位移台设有第一、第二、第三及第四反射镜,第一反射镜将入射光束反射至第二反射镜,第二反射镜将入射光束反射至第三反射镜,第三反射镜将入射光束反射至第四反射镜;其中,第一、第二、第三及第四反射镜的法线各与入射光束成45度角,且第二反射镜与第三反射镜在手动或电动驱动下以同步发生分别与第一反射镜和第四反射镜之间等间距直线位移;呈现所述干涉发生装置所发生干涉图像的散射片;对所述散射片所呈现图案进行拍照的图像采集器,且所述图像采集器帧率的最小值至少大于或等于3倍所述位移台最大运动速率除以所述多纵模激光光源干涉周期的比值;与所述图像采集器进行数据通讯的主机,用于从所述图像采集器获取所采集的散斑图片,计算各帧散斑图片中不同像素半径下的灰度值曲线,根据灰度值最大值确定所截取圆环区域所对应的光强的阈值范围,再根据所述阈值范围确定所述圆环区域内外环所分别对应的像素半径大小;然后计算各帧散斑图片中所截取圆环区域的散斑对比度,根据所述位移台在运动过程中系列图像帧与散斑对比度周期的对应关系计算实测的光程差,在计算过程中,将散斑对比度的周期等同于所述多纵模激光光源的干涉周期,然后根据实测的光程差与所述位移台所得出的行程计算出定位精度结果。
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